铬钼蒸发材料(CrMo)

铬钼蒸发材料(Chromium Molybdenum Evaporation Material,CrMo)是一种由铬(Cr)与钼(Mo)组成的高稳定性合金蒸发材料,主要用于真空蒸发与电子束蒸发(E-beam Evaporation)等 PVD 薄膜沉积工艺。CrMo 合金将铬优异的耐腐蚀与抗氧化性能钼的高熔点、高温强度和低蒸汽压特性相结合,特别适用于对高温稳定性、结构可靠性和长期服役性能要求较高的薄膜应用。

在半导体制造、功能金属薄膜与高温环境涂层中,CrMo 是一类工程成熟、性能均衡且工艺窗口宽的蒸发材料体系。

产品详情(Detailed Description)

铬钼蒸发材料通常选用高纯铬与高纯钼为原料,通过真空熔炼或合金化烧结工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量严格受控。

  • 纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N),满足科研及工业级薄膜沉积需求

  • 合金比例:Cr/Mo 比例可按质量比或原子比定制,用于调节薄膜的耐蚀性、应力状态与高温稳定性

  • 高温稳定性:钼元素显著提高薄膜在高温沉积与后处理过程中的结构稳定性

  • 环境耐受性:铬元素在膜层表面形成稳定钝化层,增强抗氧化与耐腐蚀能力

  • 供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源

通过合理的成分与工艺设计,CrMo 蒸发材料可获得致密、均匀、附着力良好且耐高温的合金薄膜。

应用领域(Applications)

铬钼蒸发材料在多个高端薄膜沉积与功能涂层领域中具有典型应用,包括:

  • 半导体薄膜沉积:高温过渡层、功能金属层

  • 微电子与集成电路:结构稳定金属薄膜、界面调控层

  • 耐高温与耐腐蚀涂层:防护薄膜、表面工程

  • 光学与功能镀膜:金属反射层、功能中间层

  • 科研与实验室应用:高温合金薄膜、结构与应力演化研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
合金成分 Cr–Mo(比例可定制) 决定高温与耐环境性能
纯度 99.9% – 99.99% 影响薄膜可靠性与缺陷水平
形态 颗粒 / 块状 / 片状 适配不同蒸发源
尺寸范围 1 – 10 mm(颗粒)或定制 影响蒸发速率与均匀性
蒸发方式 热蒸发 / 电子束蒸发 兼容主流真空系统

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
铬钼蒸发材料(CrMo) 高温稳定、耐蚀性强 高温与功能薄膜
纯铬(Cr) 抗氧化、耐腐蚀 防护与装饰薄膜
纯钼(Mo) 高熔点、低蒸汽压 高温结构薄膜
铬钛(CrTi) 附着力优异 粘附与过渡层

常见问题(FAQ)

Q1:CrMo 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,尤其适合高温薄膜制备。

Q2:CrMo 薄膜的主要优势是什么?
A:具有优异的高温稳定性、抗氧化能力和结构可靠性。

Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据高温性能、应力控制或耐蚀性需求定制 Cr/Mo 比例。

Q4:是否适合高功率电子束蒸发?
A:适合,钼的高熔点使其在高功率条件下表现稳定。

Q5:膜层附着力如何?
A:对硅、玻璃、氧化物及多种金属基底具有良好附着性能。

Q6:是否可用于多层或复合薄膜结构?
A:可以,常作为高温功能层或过渡层使用。

Q7:与纯钼薄膜相比有何不同?
A:CrMo 在保持高温稳定性的同时,提高了耐腐蚀与环境适应性。

Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:高温合金薄膜、界面稳定性及应力控制研究。

包装与交付(Packaging)

所有铬钼蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,配合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。

结论(Conclusion)

铬钼蒸发材料(CrMo)通过将钼的高温结构稳定性与铬的耐腐蚀、抗氧化特性相结合,为高温与高可靠性薄膜应用提供了一种性能均衡、工艺成熟且长期稳定的合金蒸发材料解决方案。对于需要在苛刻环境下保持薄膜性能一致性的真空蒸发应用,CrMo 是一种值得信赖的工程级材料选择。

如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com