铬钴镍靶材（CrCoNi）

产品简介（Introduction）

铬钴镍靶材（CrCoNi）是一种典型的高熵合金（三元 HEA）体系，由铬（Cr）、钴（Co）与镍（Ni）组成。该材料以卓越的韧性、良好的可塑性、强耐腐蚀性与高结构稳定性而著称，尤其在低温条件下仍能保持极高的断裂韧性，是当前材料科学界备受关注的高性能合金之一。

在薄膜应用中，CrCoNi 具有优异的成膜一致性、较好的力学性能、耐磨与耐腐蚀特性，适用于功能涂层、保护膜、微电子结构层与先进材料设计研究。

产品详情（Detailed Description）

CrCoNi 靶材采用高纯金属原料，通过真空熔炼、粉末冶金（PM）、CIP/HIP 热等静压、固相合金化与精密 CNC 机加工完成。
其特点：

• 高致密度（≥97%）

• 成分均匀无偏析

• 表面精加工，适合高功率溅射

• 膜层缺陷率低、颗粒少

• 结构稳定，可耐受热处理

可提供规格：

• 纯度：99.9%–99.99%

• 成分比：CrCoNi（可按 Cr比例或Co/Ni 调整）

• 直径：Φ25–Φ300 mm

• 厚度：3–6 mm（支持更薄）

• 背板结合：Cu 背板、Ti 背板、In 焊

材料性能优势：

• 高韧性，尤其在低温下性能突出

• 抗腐蚀性优异

• 热稳定性强，适用于高温工艺

• FCC 稳定结构，成膜均匀性佳

• 与 Si、玻璃、陶瓷、金属氧化物基底兼容性好

应用领域（Applications）

先进薄膜与表面工程

• 耐腐蚀涂层

• 高韧性结构薄膜

• 抗磨损功能膜

• 高强度强化膜层

微电子与互连材料

• 阻挡层

• 接触层及界面过渡层

• 高可靠性薄膜结构材料

高熵合金与基础科研

• HEA 相稳定性研究

• 元素配比对力学性能影响

• FCC 固溶体薄膜结构研究

航空航天/能源领域

• 极端环境用保护涂层

• 高温设备镀膜

• 低温条件下强韧薄膜应用

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. CrCoNi 是高熵合金吗？
是的，属于三元高熵合金体系，具有高结构稳定性。

2. 成分比可以定制吗？
可以，根据腐蚀性、力学性能或薄膜电阻需求定制比例。

3. 是否适合高温工艺？
材料热稳定性强，可承受较高的退火温度。

4. 能否用于 RF 和 DC 溅射？
均适用，且适配磁控溅射系统。

5. 是否支持 8–12 英寸靶材？
完全支持，可根据设备要求定制。

6. 薄膜应力控制效果如何？
得益于 FCC 结构和均匀合金化，应力表现良好。

7. 是否提供 ICP 成分分析报告？
出厂可附成分、纯度、密度检测等报告。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 防震泡棉固定

• 出口级纸箱或木箱

• 单件编号可追溯

结论（Conclusion）

铬钴镍靶材（CrCoNi）作为典型高熵合金靶材，兼具优异韧性、耐腐蚀性和成膜稳定性，是表面工程、先进电子结构与 HEA 研究领域的理想材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、多规格定制的 CrCoNi 靶材，可满足科研到量产的全范围需求。

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