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铥铁靶材（TmFe）是一类由稀土元素铥（Tm）与铁（Fe）组成的高性能金属靶材，兼具磁性材料与稀土金属材料的多重特性。其独特的磁学、电学与结构特性使其适用于先进磁性薄膜、稀土金属功能膜层、电子器件以及科研实验中的多领域应用。
TmFe 在薄膜制备中具有良好稳定性，能够提供可控的磁性响应，是磁存储、传感器、磁光材料研究中的重要靶材基础材料。
苏州科跃材料科技有限公司生产的 TmFe 靶材采用高纯铥和铁原料，通过真空熔炼、粉末冶金、CIP（冷等静压）、热压或 HIP 致密化工艺制备。靶材组织致密、成分均匀，适用于各种 PVD、磁控溅射及离子束沉积设备。
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
配比：Tm:Fe 可按原子比 / 摩尔比定制
尺寸：直径 25–300 mm 可选，支持方片、阶梯靶
厚度：3–6 mm
密度：≥ 97–99% 理论密度（T.D.）
工艺：CIP 成型 + 热压 / HIP 致密化
背板（Bonding）：Cu / Ti / Mo，可铟焊（In Bonding）
成分均匀，磁性可控
高致密度，成膜稳定
微结构细腻，溅射速率一致
可用于多种磁学薄膜研究
兼容 RF、DC、MF 溅射系统
铥铁靶材广泛应用于磁性与稀土功能薄膜相关领域，包括：
稀土磁性薄膜研究
软磁 / 硬磁薄膜调控实验
磁阻 / 自旋电子学（Spintronics）材料开发
先进传感器材料
稀土金属功能涂层
科研实验中的稀土复合材料设计
TmFe 薄膜具有可调控的磁性与结构特性，是高端磁学与稀土材料研究的重要工具材料。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 杂质低，磁性表现稳定 |
| 配比 | Tm:Fe 可定制 | 支持科研用特殊成分 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm | 适配研究与量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按需加厚或减薄 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|
| TmFe | 稀土+铁复合，磁性可调 | 高端磁性薄膜、科研 |
| NdFe | 强磁性表现 | 磁性结构材料 |
| GdFe | 磁光效应强 | 光磁应用 |
| Tm 金属靶 | 稀土特性强 | 稀土薄膜研究 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| TmFe 靶材适用于哪些溅射类型？ | RF、DC、脉冲溅射均兼容。 |
| 比例是否可定制？ | 可按 Tm/Fe 原子比完全定制。 |
| 是否提供背板？ | 可选 Cu、Ti、Mo 背板及铟焊工艺。 |
| 膜层磁性稳定吗？ | 取决于配比与工艺，通常表现稳定可控。 |
| 是否提供 COA？ | 每批次均附成分检测、密度、外观检测报告。 |
单片真空密封
内部泡棉缓冲
出口级防震木箱
唯一追溯编号 + COA 全套报告
铥铁靶材（TmFe）是一种稀土磁性复合材料靶材，具备优异的磁性可调性与材料稳定性，是先进磁性薄膜、稀土材料研究及电子器件领域的重要沉积材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制配比的 TmFe 靶材，满足科研与产业的多样需求。
如需报价请联系：
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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