铝钛蒸发材料(AlTi)

铝钛蒸发材料(Aluminum Titanium Evaporation Material,AlTi)是一种由铝(Al)与钛(Ti)组成的常用功能合金蒸发材料,主要用于真空蒸发与电子束蒸发(E-beam Evaporation)等 PVD 薄膜沉积工艺。AlTi 合金将铝的轻质、良好导电性与成膜均匀性,与钛优异的附着力、界面活性及结构稳定性相结合,在电子、半导体与光学薄膜工程中被广泛用作粘附增强型功能金属层或过渡层材料

在需要同时兼顾膜层附着力、工艺稳定性与规模化可行性的应用场景中,AlTi 是一类成熟可靠、工程应用经验丰富的蒸发材料体系。

产品详情(Detailed Description)

铝钛蒸发材料通常选用高纯铝与高纯钛为原料,通过真空熔炼或合金化工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量严格受控。

  • 纯度等级:99.9%(3N)–99.99%(4N),满足科研及工业级薄膜沉积需求

  • 合金比例:Al/Ti 比例可按质量比或原子比定制,用于调节薄膜的附着力、导电性与内应力

  • 界面与附着性能:钛元素显著提升薄膜在玻璃、硅、氧化物及多种金属基底上的结合强度

  • 工艺稳定性:铝元素有助于获得均匀、连续且应力可控的金属薄膜

  • 供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源

通过合理的成分设计与蒸发参数控制,可获得致密、均匀、附着力优良的 AlTi 合金薄膜。

应用领域(Applications)

铝钛蒸发材料在多个薄膜沉积与功能金属层领域中具有典型应用,包括:

  • 半导体薄膜沉积:粘附层、过渡层、功能金属层

  • 电子与微电子器件:导电层、互连与功能薄膜

  • 光学与显示镀膜:金属反射层、功能中间层

  • 表面工程与防护涂层:耐环境金属薄膜

  • 科研与实验室应用:合金薄膜结构、界面与应力调控研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
合金成分 Al–Ti(比例可定制) 决定附着力与电学性能
纯度 99.9% – 99.99% 影响薄膜缺陷与可靠性
形态 颗粒 / 块状 / 片状 适配不同蒸发源
尺寸范围 1 – 10 mm(颗粒)或定制 影响蒸发速率与均匀性
蒸发方式 热蒸发 / 电子束蒸发 兼容主流真空系统

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
铝钛蒸发材料(AlTi) 附着力 + 工艺稳定性 功能金属与过渡层
纯铝(Al) 导电性好、易沉积 电极与反射膜
纯钛(Ti) 附着力极佳 粘附与过渡层
铬钛(CrTi) 耐蚀性更强 高可靠性粘附层

常见问题(FAQ)

Q1:AlTi 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,广泛用于功能金属与粘附层薄膜制备。

Q2:AlTi 薄膜的主要优势是什么?
A:在保持铝良好成膜性的同时,大幅提升薄膜附着力与界面稳定性。

Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据附着力、电导率或应力控制需求定制 Al/Ti 比例。

Q4:与纯铝薄膜相比有何不同?
A:AlTi 薄膜在附着力和长期可靠性方面明显优于纯铝。

Q5:是否适合连续或批量蒸发?
A:适合,蒸发行为稳定,工艺重复性高。

Q6:膜层附着力表现如何?
A:对玻璃、硅、氧化物及多种金属基底具有优良附着性能。

Q7:是否可用于多层或复合薄膜结构?
A:可以,常作为导电-粘附复合层或功能过渡层使用。

Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:薄膜界面工程、应力控制及合金成膜机理研究。

包装与交付(Packaging)

所有铝钛蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,配合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。

结论(Conclusion)

铝钛蒸发材料(AlTi)通过将铝的优良成膜特性与钛的高附着力优势相结合,为电子、半导体与光学薄膜提供了一种工艺成熟、性能均衡且可靠性高的合金蒸发材料解决方案。对于需要稳定工艺窗口、良好附着力与规模化沉积能力的真空蒸发应用,AlTi 是一种值得信赖的工程级材料选择。

如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com