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铝钕靶材(AlNd)由铝(Al)与钕(Nd)组成,是一种用于磁性薄膜、光电器件、微电子结构层以及先进功能涂层的稀土合金溅射靶材。
AlNd 薄膜具有优异的电学稳定性、良好的膜附着力、可调磁性、优秀的抗氧化能力和较高的热稳定性,在磁性材料、光电子器件、薄膜封装、导电功能层等领域受到广泛关注。
钕作为稀土元素可提升薄膜的磁性调控、氧化稳定性和微结构均匀性,而铝提供轻质、抗腐蚀与良好导电能力,使 AlNd 成为兼具电学、耐腐蚀和磁性调控能力的多功能材料。
铝钕靶材采用高纯铝和高纯钕原料,经真空熔炼、粉末冶金(PM)、冷等静压(CIP)、热等静压(HIP)和精密机加工制备,确保:
成分分布均匀,不偏析
高致密度(≥97%)
低氧含量,减少薄膜针孔
溅射稳定性强,颗粒低
可根据应用需求定制成分比例
常见成分配比:
Al90Nd10
Al85Nd15
Al80Nd20
可根据磁性、电阻率需求定制
标准规格:
纯度:99.5%–99.99%
直径:Φ25–Φ300 mm
厚度:3–6 mm(可进一步定制)
形状:圆形靶 / 矩形靶
背板结合:Cu 背板、Ti 背板、In 焊
核心性能优势:
优秀的氧化稳定性
磁性可调,可形成弱磁或中等磁性薄膜
低应力薄膜优异
膜层致密、附着力强
适合高频、光学与电子结构应用
软磁薄膜
磁性调控层
稀土磁电器件
磁阻传感器结构
光学调控层
透明薄膜电子器件
高稳定性封装层
光电界面材料
导电层 / 粘附层
阻挡层
可调电阻薄膜结构
稀土掺杂薄膜研究
磁学、电学复合调控实验
新型功能薄膜设计探索
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.99% | 高纯减少薄膜缺陷 |
| Al/Nd 比 | 可定制 | 决定磁性、电阻率与膜内应力 |
| 致密度 | ≥97% | 提升薄膜均匀性 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配主流溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按寿命需求定制 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 适合高功率溅射散热 |
| 材料 | 特点 | 应用方向 |
|---|---|---|
| AlNd | 稀土调控、耐氧化、磁性可调 | 光电、磁性薄膜 |
| AlY | 更强抗氧化性 | 光学薄膜、封装层 |
| AlSm | 稀土磁性优越 | 功能磁性结构 |
| Al | 导电稳定、轻质 | 金属功能层、反射层 |
1. AlNd 是否适用于 RF 与 DC 溅射?
是的,可兼容 RF、DC 与磁控溅射。
2. 薄膜磁性是否可通过 Nd 含量调控?
可以,Nd 增加可增强磁性与结构稳定性。
3. 是否支持大尺寸靶材?
完全支持 4″、6″、8″、12″ 及矩形靶。
4. AlNd 会氧化吗?
Nd 的加入反而能形成稳定氧化层,提高薄膜整体抗氧化能力。
5. 是否提供检测报告?
可提供 ICP、XRF、密度、显微结构等报告。
真空密封防氧化
防震泡棉保护
纸箱 / 木箱出口包装
独立批次编号可追溯
铝钕靶材(AlNd)是一种兼具稀土调控、高稳定性和可调磁性的多功能靶材。其薄膜适用于磁性、光学、微电子与先进功能材料的研究与工程应用。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、成分可定制的 AlNd 溅射靶材,稳定可靠,适用于科研和产业化生产。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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