铝钕靶材(AlNd)

铝钕靶材(AlNd)

产品简介(Introduction)

铝钕靶材(AlNd)由铝(Al)与钕(Nd)组成,是一种用于磁性薄膜、光电器件、微电子结构层以及先进功能涂层的稀土合金溅射靶材。
AlNd 薄膜具有优异的电学稳定性、良好的膜附着力、可调磁性、优秀的抗氧化能力和较高的热稳定性,在磁性材料、光电子器件、薄膜封装、导电功能层等领域受到广泛关注。

钕作为稀土元素可提升薄膜的磁性调控、氧化稳定性和微结构均匀性,而铝提供轻质、抗腐蚀与良好导电能力,使 AlNd 成为兼具电学、耐腐蚀和磁性调控能力的多功能材料。


产品详情(Detailed Description)

铝钕靶材采用高纯铝和高纯钕原料,经真空熔炼、粉末冶金(PM)、冷等静压(CIP)、热等静压(HIP)和精密机加工制备,确保:

  • 成分分布均匀,不偏析

  • 高致密度(≥97%)

  • 低氧含量,减少薄膜针孔

  • 溅射稳定性强,颗粒低

  • 可根据应用需求定制成分比例

常见成分配比:

  • Al90Nd10

  • Al85Nd15

  • Al80Nd20

  • 可根据磁性、电阻率需求定制

标准规格:

  • 纯度:99.5%–99.99%

  • 直径:Φ25–Φ300 mm

  • 厚度:3–6 mm(可进一步定制)

  • 形状:圆形靶 / 矩形靶

  • 背板结合:Cu 背板、Ti 背板、In 焊

核心性能优势:

  • 优秀的氧化稳定性

  • 磁性可调,可形成弱磁或中等磁性薄膜

  • 低应力薄膜优异

  • 膜层致密、附着力强

  • 适合高频、光学与电子结构应用


应用领域(Applications)

磁性薄膜与传感器

  • 软磁薄膜

  • 磁性调控层

  • 稀土磁电器件

  • 磁阻传感器结构

光电薄膜与透明电子

  • 光学调控层

  • 透明薄膜电子器件

  • 高稳定性封装层

  • 光电界面材料

微电子与金属功能层

  • 导电层 / 粘附层

  • 阻挡层

  • 可调电阻薄膜结构

先进材料与科研用途

  • 稀土掺杂薄膜研究

  • 磁学、电学复合调控实验

  • 新型功能薄膜设计探索


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 99.5%–99.99% 高纯减少薄膜缺陷
Al/Nd 比 可定制 决定磁性、电阻率与膜内应力
致密度 ≥97% 提升薄膜均匀性
直径 25–300 mm 适配主流溅射系统
厚度 3–6 mm 可按寿命需求定制
背板 Cu / Ti / In 适合高功率溅射散热

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用方向
AlNd 稀土调控、耐氧化、磁性可调 光电、磁性薄膜
AlY 更强抗氧化性 光学薄膜、封装层
AlSm 稀土磁性优越 功能磁性结构
Al 导电稳定、轻质 金属功能层、反射层

常见问题(FAQ)

1. AlNd 是否适用于 RF 与 DC 溅射?
是的,可兼容 RF、DC 与磁控溅射。

2. 薄膜磁性是否可通过 Nd 含量调控?
可以,Nd 增加可增强磁性与结构稳定性。

3. 是否支持大尺寸靶材?
完全支持 4″、6″、8″、12″ 及矩形靶。

4. AlNd 会氧化吗?
Nd 的加入反而能形成稳定氧化层,提高薄膜整体抗氧化能力。

5. 是否提供检测报告?
可提供 ICP、XRF、密度、显微结构等报告。


包装与交付(Packaging)

  • 真空密封防氧化

  • 防震泡棉保护

  • 纸箱 / 木箱出口包装

  • 独立批次编号可追溯


结论(Conclusion)

铝钕靶材(AlNd)是一种兼具稀土调控、高稳定性和可调磁性的多功能靶材。其薄膜适用于磁性、光学、微电子与先进功能材料的研究与工程应用。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、成分可定制的 AlNd 溅射靶材,稳定可靠,适用于科研和产业化生产。

如需报价或更多技术信息,请联系:
sales@keyuematerials.com