描述
苏州科跃 铝酸镧（LaAlO₃）衬底
铝酸镧（LaAlO₃）是一种高性能单晶衬底，广泛应用于工业生产及高温超导薄膜的制备。该材料采用提拉法（Czochralski）生长工艺制造，可获得直径达 2 英寸甚至更大的单晶。其与 YBaCuO 高温超导薄膜的优异匹配性，加上低介电常数和极低的微波损耗，使其成为先进微波电子器件中的关键材料。
铝酸镧衬底主要物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | LaAlO₃ |
| 晶体结构 | 室温：六方晶系；高于 435℃：立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | 六方：a = 5.3575, c = 13.22；立方：a = 3.821 |
| 生长方法 | 提拉法（Czochralski） |
| 莫氏硬度 | 6–6.5 |
| 熔点 | 2080℃ |
| 密度 (g/cm³) | 6.52 |
| 热膨胀系数 | 9.4 × 10⁻⁶ /℃ |
| 介电常数 | ε = 21 |
| 损耗角正切（10 GHz） | ~ 3 × 10⁻⁴ @ 300K；~ 0.6 × 10⁻⁴ @ 77K |
| 外观 | 棕黄色至棕色，抛光表面，带有根据退火条件形成的天然孪晶结构 |
| 化学稳定性 | 室温下不溶于矿酸；高于 150℃ 时可溶于 H₃PO₄ |
| 关键特性 | 微波电子器件的理想材料 |
铝酸镧衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″、直径 2.6″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <100>、<110>、<111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可选 1°） |
| 晶体角度 | 可按需提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
包装细节
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装铝酸镧衬底，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，以确保产品的完整性与高洁净度。
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