铝酸镁(尖晶石)衬底 (MgAl₂O₄)

苏州科跃 铝酸镁(尖晶石)衬底

铝酸镁(MgAl₂O₄)衬底是一种用途广泛的单晶材料,广泛应用于体声波(BAW)与微波器件,以及高速集成电路外延衬底。由于其单相结构的稳定性难以保持,高质量的 MgAl₂O₄ 晶体生产需要先进的制造工艺。苏州科跃采用精密制造技术,提供高性能铝酸镁(尖晶石)衬底,以满足高端应用的苛刻需求。

铝酸镁(尖晶石)衬底物理性能

性能参数 数值
材料 MgAl₂O₄
晶体结构 立方晶系
晶格常数 (Å) a = 8.085
生长方法 提拉法(Czochralski)
莫氏硬度 8.0
颜色 白色透明
熔点 2130°C
密度 (g/cm³) 3.64
相速度 (100) 剪切波 6500 m/s
传播损耗 6.5 dB/ms
热膨胀系数 7.45 × 10⁻⁶ /°C

铝酸镁(尖晶石)衬底规格

规格 参数
尺寸 10 × 5 mm、10 × 10 mm、20 × 20 mm、直径 2″
厚度 0.5 mm、1.0 mm
表面处理 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
晶向 <100>、<110>、<111>
定向精度 ±0.5°
边缘倒角 2°(可定制为 1°)
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)
特殊定制 可按需求提供特殊尺寸与晶向

包装信息

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装铝酸镁(尖晶石)衬底,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,确保产品在运输及存储过程中的洁净度与完整性。

选择苏州科跃高品质铝酸镁(尖晶石)衬底,满足先进技术应用的严格要求。