描述
苏州科跃 铝酸镁（尖晶石）衬底
铝酸镁（MgAl₂O₄）衬底是一种用途广泛的单晶材料，广泛应用于体声波（BAW）与微波器件，以及高速集成电路外延衬底。由于其单相结构的稳定性难以保持，高质量的 MgAl₂O₄ 晶体生产需要先进的制造工艺。苏州科跃采用精密制造技术，提供高性能铝酸镁（尖晶石）衬底，以满足高端应用的苛刻需求。
铝酸镁（尖晶石）衬底物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | MgAl₂O₄ |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 8.085 |
| 生长方法 | 提拉法（Czochralski） |
| 莫氏硬度 | 8.0 |
| 颜色 | 白色透明 |
| 熔点 | 2130°C |
| 密度 (g/cm³) | 3.64 |
| 相速度 | (100) 剪切波 6500 m/s |
| 传播损耗 | 6.5 dB/ms |
| 热膨胀系数 | 7.45 × 10⁻⁶ /°C |
铝酸镁（尖晶石）衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 5 mm、10 × 10 mm、20 × 20 mm、直径 2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 表面处理 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <100>、<110>、<111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可定制为 1°） |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
| 特殊定制 | 可按需求提供特殊尺寸与晶向 |
包装信息
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装铝酸镁（尖晶石）衬底，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保产品在运输及存储过程中的洁净度与完整性。
选择苏州科跃高品质铝酸镁（尖晶石）衬底，满足先进技术应用的严格要求。
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