铝酸镁衬底(MgAl6010)

苏州科跃 铝酸镁(MgAl₆O₁₀)衬底

铝酸镁(MgAl₆O₁₀)衬底是一种先进的陶瓷材料,以优异的热稳定性、高机械强度及出色的电绝缘性能而著称。该材料在高温及严苛化学环境中具有卓越的耐受能力,非常适用于电子、光学及高频器件等高要求应用领域。

苏州科跃的 MgAl₆O₁₀ 衬底表面光滑且高度抛光,为半导体与光学镀膜提供理想的薄膜沉积条件。其低热膨胀系数在高温环境中可显著降低热应力,提高器件的可靠性与寿命。凭借优异的介电性能与极低的信号损耗,这类衬底广泛应用于微电子器件、激光元件及高功率器件制造。

由于具有卓越的机械与化学耐久性,铝酸镁衬底为航空航天、通信及先进传感器系统等尖端技术提供了可靠的基础支撑。

铝酸镁衬底物理性能

性能参数 数值
材料 MgAl₆O₁₀
晶体结构 M3
晶格常数 (Å) a = 7.9780
密度 (g/cm³) 3.585
热膨胀系数 a 轴:6.5 × 10⁻⁶ /°C;c 轴:3.7 × 10⁻⁶ /°C

铝酸镁衬底规格

规格 参数
尺寸 5 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 2″(最大尺寸)
晶向 <100>、<110>、<111>
抛光 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
定向精度 ±0.5°
晶体角度 可根据需求提供特殊尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)

铝酸镁衬底包装

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中进行封装,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,确保材料在运输过程中得到最大程度保护。

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