描述
苏州科跃 铝酸镁（MgAl₆O₁₀）衬底
铝酸镁（MgAl₆O₁₀）衬底是一种先进的陶瓷材料，以优异的热稳定性、高机械强度及出色的电绝缘性能而著称。该材料在高温及严苛化学环境中具有卓越的耐受能力，非常适用于电子、光学及高频器件等高要求应用领域。
苏州科跃的 MgAl₆O₁₀ 衬底表面光滑且高度抛光，为半导体与光学镀膜提供理想的薄膜沉积条件。其低热膨胀系数在高温环境中可显著降低热应力，提高器件的可靠性与寿命。凭借优异的介电性能与极低的信号损耗，这类衬底广泛应用于微电子器件、激光元件及高功率器件制造。
由于具有卓越的机械与化学耐久性，铝酸镁衬底为航空航天、通信及先进传感器系统等尖端技术提供了可靠的基础支撑。
铝酸镁衬底物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | MgAl₆O₁₀ |
| 晶体结构 | M3 |
| 晶格常数 (Å) | a = 7.9780 |
| 密度 (g/cm³) | 3.585 |
| 热膨胀系数 | a 轴：6.5 × 10⁻⁶ /°C；c 轴：3.7 × 10⁻⁶ /°C |
铝酸镁衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 5 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 2″（最大尺寸） |
| 晶向 | ＜100＞、＜110＞、＜111＞ |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 晶体角度 | 可根据需求提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
铝酸镁衬底包装
苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中进行封装，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，确保材料在运输过程中得到最大程度保护。
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