铝酸锶镧衬底 (LaSrAlO₄)

苏州科跃 铝酸锶镧(LaSrAlO₄)衬底

苏州科跃提供高品质铝酸锶镧(LaSrAlO₄)衬底,具有优异的化学稳定性、高介电常数及与多种氧化物材料的卓越晶格匹配性能。该衬底非常适合薄膜外延生长,尤其应用于光电子学、超导技术及高频电子器件领域。

LaSrAlO₄ 衬底具备优异的热稳定性和低热膨胀系数,使其在高性能电子器件及量子材料研究中表现突出。其高折射率及在可见光和红外波段的良好透光性,使其广泛用于光学镀膜和光子学。此外,LaSrAlO₄ 衬底常应用于复杂氧化物体系中,对高质量界面形成的要求尤为适配。

苏州科跃可根据客户需求,提供精确规格的定制化 LaSrAlO₄ 衬底,从电子器件到先进材料研究均能确保最佳性能与可靠性。

铝酸锶镧衬底主要物理性能

性能参数 数值
材料 LaSrAlO₄(铝酸锶镧)
晶体结构 M4
晶格常数 (Å) a = 3.756, c = 12.63
生长方法 提拉法(Czochralski)
熔点 1650℃
密度 (g/cm³) 5.92
莫氏硬度 6–6.5
介电常数 ε = 16.8

铝酸锶镧衬底规格

规格 参数
尺寸 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″
厚度 0.5 mm、1.0 mm
抛光 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
晶向 <001>
定向精度 ±0.5°
晶体角度 可按需提供特殊尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)

包装细节

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装 LaSrAlO₄ 衬底,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,确保产品在运输和存储过程中的洁净度与防护性。

选择苏州科跃高性能铝酸锶镧(LaSrAlO₄)衬底,为高质量薄膜制备及先进半导体应用提供可靠保障。