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铜锡靶材(CuSn)由铜(Cu)与锡(Sn)合金组成,是电子制造、半导体封装、光学镀膜以及功能薄膜常用的溅射材料之一。Cu 提供高导电性与优良延展性,Sn 则改善润湿性、抗氧化性及结合力,使 CuSn 薄膜兼具良好的导电性能、耐腐蚀性与可焊接性。
CuSn 最典型的用途是作为无铅焊料相关薄膜、抗氧化保护层、铜互连工艺辅助层以及微电子封装中的关键金属薄膜。
高导电性与低电阻率(来自 Cu)
良好的润湿性、可焊性(来自 Sn)
抗氧化能力强、稳定性高
溅射均匀性佳、颗粒率低
兼容 DC / RF 磁控溅射
Cu90Sn10
Cu80Sn20
Cu60Sn40
Cu50Sn50
可根据导电性、可焊性、耐腐蚀性等需求调节成分。
直径:25–300 mm
厚度:3–6 mm
纯度:99.9%–99.99%
形状:圆靶、矩形靶
背板结合:Cu / Ti / In 焊接
表面粗糙度:Ra < 0.8 μm(可做镜面抛光)
CuSn 薄膜在无铅焊料体系中应用成熟,常用于:
焊接金属层
封装互连层
金属接触焊接膜
BGA / CSP 结构金属膜
铜互连辅助薄膜
低温金属化层
电极结构层
抗氧化与保护膜
反射膜
结构保护膜
多层金属膜构建
电气连接件
防腐蚀表面
耐磨薄膜结构
金属合金薄膜研究
焊料金属界面研究
多层复合金属结构开发
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯薄膜缺陷少 |
| Cu/Sn 比例 | 可定制 | 调控可焊性与电学性能 |
| 致密度 | ≥97% | 颗粒率低,溅射稳定 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配主流 PVD 设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 支持长寿命靶材 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 提升散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| CuSn | 可焊性好、抗氧化性佳 | 焊接薄膜、封装、电极 |
| Cu | 导电性极好 | 金属互连、电极 |
| Sn | 润湿性强、低熔点 | 焊接、封装 |
| CuAg | 导电性更高 | 高性能电极层 |
1. CuSn 是否适合大面积镀膜?
是的,CuSn 溅射稳定、膜层均匀,适合大面积镀膜。
2. CuSn 的成分比例可以定制吗?
可以,常根据熔点、可焊性与电阻需求调整比例。
3. CuSn 是否易氧化?
Sn 的存在显著提升抗氧化能力,薄膜稳定性高。
4. 是否支持 8” 或 12” 靶材?
支持,且可定制矩形靶用于设备量产线。
5. 是否提供检测报告?
可提供 ICP、XRF、密度、粗糙度等报告。
双层真空密封
防静电袋包装
防震泡棉保护
出口级纸箱/木箱
附带唯一批次编号标记
铜锡靶材(CuSn)集导电性、可焊性、机械稳定性与耐腐蚀性于一体,是半导体封装、电子制造与光电薄膜中的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、成分可定制的 CuSn 靶材,适用于科研及量产。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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