铜钴靶材（CuCo）

产品简介（Introduction）

铜钴靶材（CuCo）是一种由铜（Cu）与钴（Co）组成的合金溅射靶材，兼具铜的高导电性与钴的磁性、耐腐蚀性和机械强化能力，广泛应用于磁性薄膜、结构调控薄膜、电接触材料、微电子功能层和光学镀膜等领域。

CuCo 膜层的电阻率适中，附着力良好，并可通过 Cu/Co 比例调控磁性、电性和微结构特性，因此在信息存储、微机电系统（MEMS）、传感器以及功能保护膜制备中具有显著优势。

产品详情（Detailed Description）

铜钴靶材采用高纯铜粉与钴粉，经精确比例混合、球磨均质、冷等静压（CIP）压制成型，随后通过真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）实现高致密度结构。此工艺确保靶材纯度高、杂质低、溅射稳定，不易产生颗粒，适用于 DC 与 RF 磁控溅射系统。

典型参数规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常见化学比例（Composition）：

  • Cu90Co10

  • Cu80Co20

  • Cu70Co30

  • Cu/Co 比例可根据工艺需求定制

• 尺寸（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm（可提供薄靶）

• 致密度（Density）：≥95–99% 理论密度（TD）

• 制造工艺（Manufacturing Process）：CIP、Vacuum Sintering、HIP

• 背板结合（Bonding Options）：Cu、Ti、Mo 背板或 Indium Bonding

材料特点：

• 铜提供导电性与良好延展性

• 钴提升耐腐蚀性、硬度和磁学特性

• 结构均匀、渗氧低、薄膜一致性好

• 可用于磁性膜、硬度增强膜，以及电极或接触层

• 成膜速率稳定，颗粒率低

应用领域（Applications）

1. 磁性薄膜（Magnetic Thin Films）

• 自旋电子学（Spintronics）

• 磁传感器

• 输入/输出磁头结构

• 软磁或弱磁调控层

铜钴合金可通过 Co 含量调控磁性，是磁存储应用的重要材料。

2. 微电子器件（Microelectronics）

• 电极层

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 电接触材料（Contact Layers）

• 结构调控层（Mechanical Strengthening Layer）

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 反射膜

• 耐磨保护层

• 调制层（Interlayer）

4. MEMS 与功能涂层（Functional Coatings & MEMS）

• 导电与功能结构层

• 微结构机械强化

• 耐腐蚀保护薄膜

5. 工程强化膜（Engineering Protective Films）

• 耐磨、耐腐蚀保护膜

• 高硬度功能层

• 金属结构增强膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

• 真空密封包装

• 防潮铝箔袋

• 防震泡棉包覆

• 出口级硬纸箱或木箱

• 每片靶材均附唯一追踪条码和检测数据

结论（Conclusion）

铜钴靶材（CuCo）凭借其良好的导电性、可调磁性、高稳定性和优质成膜性能，在磁性薄膜、光电器件、MEMS、电子接触层和工程保护膜中具有重要价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供多比例、多尺寸、高纯度的 CuCo 靶材，满足科研与工业量产需求。

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