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铌钛靶材（NbTi）是一种由铌（Nb）与钛（Ti）构成的高性能金属合金靶材，以其优异的机械强度、电学性能及抗腐蚀特性而闻名。Nb 与 Ti 的结合使材料具备良好的延展性、高熔点与热稳定性，适用于磁控溅射沉积高可靠性的金属薄膜。NbTi 在超导材料、电极薄膜、阻挡层、功能涂层等领域有广泛应用，是科研与工业常用的复合金属靶材。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯 Nb、Ti 原料，通过真空熔炼、均质化处理、CIP 冷等静压、热等静压（HIP）等工艺制备高致密 NbTi 靶材。靶材成分均匀、内部缺陷少，并具备良好的溅射稳定性和高功率承载能力。
化学体系：Nb–Ti 合金（常见比例 Nb50Ti50、Nb60Ti40，可定制）
纯度：99.9%（3N）
致密度：≥ 98–99% 理论密度（T.D.）
尺寸：直径 Ø25–Ø300 mm
厚度：3–6 mm
制造工艺：CIP + HIP / 真空熔炼
背板（可选）：Cu / Ti / Mo 背板，可铟焊（In Bonding）
银灰色高纯金属质感，成膜均匀度高
高熔点（Nb 2477°C，Ti 1668°C），耐高温溅射环境
良好的延展性与抗腐蚀性能
稳定的溅射速率与膜层附着力
适合复杂结构金属薄膜制备
铌钛靶材在电子、超导与薄膜技术领域中具有重要用途，包括：
超导薄膜（Superconducting Films）
电极层、金属互连层
阻挡层（Barrier Layers）
传感器结构金属薄膜
耐腐蚀保护涂层
精密电子器件金属层
功能金属涂层（PVD）
NbTi 因其良好的超导特性（尤其是 Nb-rich 配比）也可用于超导薄膜研究。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分 | Nb–Ti（可定制） | 不同比例影响机械与电学性能 |
| 纯度 | 99.9%（3N） | 高纯减少杂质与薄膜缺陷 |
| 致密度 | ≥98–99% T.D. | 提升膜层质量与稳定性 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm | 可适配多种溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 根据需求定制 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo | 增强散热与机械强度 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| NbTi | 高强度、高熔点、可超导 | 超导膜、电极层 |
| NbZr | 更高耐腐蚀性 | 功能涂层 |
| Nb | 高熔点、化学稳定 | 电极、阻挡层 |
| Ti | 轻质、可加工 | 结构膜、金属层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NbTi 靶材适用哪些溅射方式？ | RF、DC、脉冲溅射均可。 |
| 是否可定制 Nb:Ti 比例？ | 可以，常见 Nb50Ti50、Nb60Ti40 等。 |
| 薄膜颜色是什么？ | 银灰色金属质感。 |
| 是否可提供背板？ | 可铟焊 Cu / Ti / Mo 背板。 |
| 是否附 COA？ | 每批附纯度、密度、尺寸及外观检测报告。 |
真空密封包装
多层防震保护
出口级木箱
单独批号与 COA 认证随货
铌钛靶材（NbTi）以其热稳定性、机械强度与金属薄膜性能，在超导、微电子和功能涂层中具有重要作用。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、尺寸可定制的 NbTi 靶材，适用于科研到量产级别的应用需求。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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