铌蒸发材料(Nb)

铌蒸发材料(Nb)是一种在半导体、超导电子、真空电子器件及高端科研薄膜中应用广泛的难熔金属蒸发材料。铌以其高熔点、优异的化学稳定性、良好的导电性与可控的反应活性而著称,尤其在制备铌金属薄膜、铌氧化物(Nb₂O₅)与铌氮化物(NbN)薄膜时表现出高度的工艺稳定性。
在高真空与超高真空(UHV)蒸发环境中,高纯铌蒸发材料可实现低污染、可重复的成膜,是功能薄膜与基础材料研究中的关键选择。

产品详情(Detailed Description)

  • 纯度等级:常规提供 3N–4N 及以上高纯铌,杂质含量低,有助于降低薄膜缺陷与界面污染。

  • 材料特性:熔点约 2477 °C,蒸气压低,在高温蒸发条件下仍保持稳定蒸发行为。

  • 形态规格:提供颗粒、片状、块状、丝材或按需定制几何形态,适配电子束蒸发源与高温蒸发舟。

  • 工艺适配性:适用于高真空/UHV 系统,兼容金属、氧化物、陶瓷及半导体基底。

  • 成膜表现:铌薄膜致密均匀,附着力好,适合后续反应性退火或反应溅射/蒸发工艺。

应用领域(Applications)

  • 半导体与微电子

    • 电极层、功能金属层

    • 扩散阻挡层与种子层

  • 超导与量子器件

    • 超导铌薄膜(Nb)

    • NbN、NbTiN 等相关体系前驱材料

  • 光学与功能涂层

    • 铌氧化物(Nb₂O₅)高折射率薄膜

  • 科研与实验室

    • 难熔金属薄膜研究

    • 表面与界面物性实验

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
化学成分 Nb 难熔功能金属
纯度 99.9% – 99.99% 降低薄膜杂质
熔点 ~2477 °C 适合高温蒸发
蒸发方式 电子束蒸发 / 高温热蒸发 工艺稳定
形态 颗粒 / 块状 / 丝材 / 定制 适配多种蒸发源

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
铌(Nb) 高熔点、反应可控 超导与功能薄膜
钽(Ta) 极高化学稳定性 扩散阻挡层
钨(W) 更高熔点 极端高温薄膜

常见问题(FAQ — 聚焦应用)

Q1:铌蒸发材料适合哪种蒸发工艺?
A:主要用于电子束蒸发,也可在高功率条件下进行高温热蒸发。

Q2:铌薄膜常见用途有哪些?
A:用于金属电极、超导薄膜以及铌氧化物和铌氮化物薄膜的制备。

Q3:铌在反应性气氛中的表现如何?
A:铌对氧、氮具有良好的反应可控性,适合反应性蒸发与后续处理。

Q4:是否支持定制形态与尺寸?
A:支持根据蒸发源结构和工艺需求进行定制。

Q5:更偏向科研还是工业应用?
A:同时适合科研实验与小批量高附加值工业应用。

包装与交付(Packaging)

所有铌蒸发材料在出厂前均经过严格检测,采用真空密封或惰性气体保护包装,并配合防震与出口级包装方案,确保运输与储存过程中的洁净度与材料稳定性。

结论(Conclusion)

铌蒸发材料凭借高熔点、稳定的蒸发行为与广泛的功能薄膜适配性,在半导体、超导器件及先进科研薄膜制备中具有重要地位,是难熔金属蒸发材料体系中的核心成员之一。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com