描述
铌掺杂钛酸锶衬底（Nb: SrTiO₃）
铌掺杂钛酸锶（Nb: SrTiO₃）衬底是一种高性能导电单晶材料，在氧化物电子学、铁电薄膜、高温超导薄膜、光电子器件及表面科学研究中应用广泛。通过在钛酸锶晶格中引入铌离子（Nb⁵⁺），可显著提高其载流子浓度和导电性，使其在薄膜外延生长中能够作为优良的导电衬底或电极层，减少界面电阻并提升器件性能。
这种衬底因其与多种氧化物功能薄膜（如SrRuO₃、La₁₋ₓSrₓMnO₃、BaTiO₃、YBa₂Cu₃O₇₋δ等）晶格匹配度高，且热膨胀系数接近，在外延生长过程中可获得高质量的薄膜结构。
物理性能
| 性能 | 详情 |
|---|---|
| 材料 | 铌掺杂钛酸锶（Nb: SrTiO₃） |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a ≈ 3.905 |
| 掺杂类型 | 铌（Nb⁵⁺） |
| 生长方法 | 柯氏拉法（Czochralski）或提拉法 |
| 硬度 | ~6（莫氏） |
| 熔点 | ~2080°C |
| 密度 (g/cm³) | ~5.11 |
| 纯度 | ≥99.95%（3N5） |
| 电阻率（常温） | ~0.01–0.1 Ω·cm（可根据掺杂浓度定制） |
规格参数
| 参数 | 详情 |
|---|---|
| 尺寸 (mm) | 5×5、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 1″、2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光类型 | SSP（单面抛光）或 DSP（双面抛光） |
| 晶向 | <100> 或 <111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤5Å（AFM测量，5µm × 5µm） |
包装
苏州科跃生产的Nb: SrTiO₃衬底在Class 1000级洁净室内完成切割、抛光、清洗及检测，并在Class 100洁净环境中封装于洁净袋或晶圆盒中，确保运输与储存过程中的洁净度与稳定性。
这种高标准的制造与包装保证了其在导电衬底、功能薄膜外延及高端光电器件制造中的卓越表现。
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