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铋镝铁靶材(BiDyFe)是一类多元复合材料靶材,由铋(Bi)、镝(Dy)、铁(Fe)组成,兼具稀土元素的磁性调控能力与过渡金属的结构稳定性。Bi–Dy–Fe 体系在磁性薄膜、磁光器件、自旋电子学、弱磁信号探测以及新型功能材料开发中具有重要应用前景。
BiDyFe 靶材采用高纯原料制备,具有优异的微观致密度、稳定的成分分布和良好的溅射一致性,可在高端科研与工业薄膜应用中提供可靠性能。
铋镝铁靶材使用高纯金属或氧化物粉末,通过冷等静压(CIP)成型与真空烧结、热压烧结(HP)等工艺制成。靶材在烧结过程中形成稳定的复合相结构,有助于获得高质量的磁性与磁光功能薄膜。
典型规格包括:
纯度(Purity):99.9%–99.99%
尺寸(Diameter):Ø25 – Ø300 mm,全尺寸可定制
厚度(Thickness):3 – 6 mm
成型方式:CIP + 真空烧结 / 热压烧结
致密度(Density):≥95% TD
背板选项(Bonding):可提供 Cu / Ti 背板或铟焊结构
性能优势:
高致密度薄膜溅射
更低颗粒率(particles)与 arcing
化学成分均匀稳定
降低靶材脆性,提高机械强度
支持高功率溅射与长时间沉积
BiDyFe 在稀土磁性与磁光材料研究中具有重要价值,可用于:
磁光薄膜(Magneto-Optical Films)
适用于磁光调制器、环形器、隔离器及光通信器件。
自旋电子学(Spintronics)
调控磁阻效应、交换耦合现象与拓扑磁结构研究。
稀土磁性材料开发
适用于弱磁检测、高灵敏磁传感器。
多功能复合薄膜
用于构建磁-电、磁-光耦合的薄膜结构。
科研实验(Fundamental Research)
适用于材料结构调控、晶相研究、磁光性能分析等。
兼容 DC / RF 溅射、反应溅射(O₂、N₂)、共溅射 等多种 PVD 工艺。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 提升薄膜稳定性与低缺陷率 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配各种沉积系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定靶材寿命与沉积速率 |
| 致密度 | ≥95% TD | 改善溅射均匀性 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊 | 增强散热与机械稳定性 |
| 材料 | 特性优势 | 典型用途 |
|---|---|---|
| BiDyFe | 稀土磁性 + 磁光响应,组成可调 | 磁光薄膜、自旋电子学 |
| BiFeO₃ | 多铁性、铁电性 | 存储器、功能薄膜 |
| DyFe 系薄膜 | 磁性强、调控能力好 | 磁传感器、磁记录材料 |
| 稀土铁氧体 | 稳定磁相 | 微波器件、磁性研究 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| BiDyFe 靶材适合 RF 还是 DC? | 二者均可使用,推荐 RF 达到稳定溅射。 |
| 靶材会不会容易开裂? | 采用 CIP + HP 工艺可大幅降低开裂风险。 |
| 能否提供 1″、2″、3″ 的样品靶材? | 可以,尺寸完全可定制。 |
| 可否加背板? | 可提供 Cu/Ti 背板与铟焊,提升散热性能。 |
| 可用于反应溅射吗? | 可用于 O₂ / N₂ 环境的反应溅射。 |
| 能否共溅射做成复合膜? | 可以,与氧化物、金属、氮化物共溅射皆可。 |
| 基底兼容性如何? | 可用于 Si、玻璃、ITO、Al₂O₃、MgO 等基底。 |
| 需不需要特别储存? | 真空密封保存即可,避免潮气更佳。 |
所有铋镝铁靶材在出厂前均:
进行纯度、尺寸、外观检验
使用真空袋密封防污染
加厚防震泡沫 & 出口级包装箱
贴附唯一序列追踪标签
确保运输过程稳定、洁净、无损伤。
铋镝铁靶材(BiDyFe)适用于磁性、磁光、自旋电子学等前沿领域,具有稀土材料独特的磁调控能力和高品质薄膜沉积性能。苏州科跃材料科技有限公司可根据您的需求提供定制化纯度、尺寸与背板选项,是科研机构与高科技企业的可靠选择。
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