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铈（Cerium, Ce）是一种银灰色稀土金属，化学活性高，具有优异的氧化还原性能与光学特性。铈靶材在光学镀膜、功能氧化物薄膜、催化材料及半导体工艺中应用广泛。铈基薄膜具有高透光率、良好稳定性与可调控氧化态，是制备CeO₂、复合氧化物以及稀土功能薄膜的重要材料。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度铈靶材（纯度99.9%–99.99%），采用真空冶炼、冷等静压（CIP）或热等静压（HIP）工艺制备，结构均匀致密、杂质含量低、表面质量优秀。
靶材可提供 圆形、方形、环形及异形结构，兼容 直流（DC）与射频（RF）磁控溅射系统。
为提升高功率溅射性能，可提供 铜（Cu）/钛（Ti）背板或 铟焊（In Bonded）结合。
高纯度（3N–4N），提升薄膜光学与电学性能；
高致密度结构，溅射均匀性佳；
表面光洁度高，靶材寿命长；
易形成CeO₂薄膜，适用于多种氧化物系统；
支持尺寸、形状与背板结构全定制。
高折射率CeO₂膜
抗反射膜与滤光膜
紫外吸收膜
功能氧化物薄膜
Ce掺杂膜与电极保护层
高温稳定材料
SOFC燃料电池电解质膜（CeO₂作为基底或掺杂材料）
催化膜（CeO₂具有优异氧储能力）
Ce基复合氧化物薄膜
Ce-Si、Ce-Ti等复合材料研究
光电转换与功能性薄膜结构设计
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度可减少薄膜缺陷与杂质影响 |
| 直径 | Ø25–Ø300 mm（可定制） | 适配各种主流溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定沉积速率与溅射稳定性 |
| 密度 | ≥ 6.77 g/cm³ | 高致密度提升成膜一致性 |
| 制备工艺 | CIP / HIP / 真空熔炼 | 微结构均匀、寿命更长 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In Bonded | 增强散热性能与结构强度 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铈（Ce） | 高透光性、易形成CeO₂ | 光学膜、氧化物功能膜 |
| 钕（Nd） | 稀土光学特性突出 | 光学与发光材料 |
| 镧（La） | 高折射率 | 先进光学镀膜 |
| 钇（Y） | 热稳定性高 | 功能氧化物薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 铈靶材适用于哪些溅射方式？ | 适用于DC与RF磁控溅射。 |
| Ce薄膜主要具有哪些特性？ | 高透光率、高折射率、良好氧化稳定性。 |
| 是否可用于制备CeO₂薄膜？ | 是的，CeO₂是其最常见应用。 |
| 是否易氧化？ | 铈易氧化，应真空密封保存。 |
| 是否可与其他金属共溅射？ | 可与Si、Ti、Zr等共溅射制备复合膜。 |
| 是否提供背板焊接？ | 可提供Cu/Ti/In Bonded多种方案。 |
| 可否定制异形靶材？ | 可以，根据图纸加工。 |
| 包装方式？ | 真空密封 + 防潮 + 防震保护。 |
所有铈靶材均采用：
真空密封包装
独立批次追踪标签
防震泡沫固定
出口级硬纸箱或木箱确保安全运输
铈靶材以其优异的光学性能、氧化特性及高纯结构，在光学镀膜、半导体、能源材料及科研领域中具有广泛应用。苏州科跃材料科技有限公司提供高致密度、高纯度Ce靶材及专业背板焊接方案，确保优异的薄膜沉积质量，是科研与工业客户的可靠选择。
如需了解更多技术参数或获取报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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