铅镧锆靶材(PbLaZr)

铅镧锆靶材(PbLaZr)

产品简介(Introduction)

铅镧锆靶材(PbLaZr)由铅(Pb)、镧(La)和锆(Zr)组成,是铅基铁电材料与高介电薄膜体系中非常重要的功能性靶材之一。该材料通常作为铅镧锆钛酸盐(PLZT)和相关铁电薄膜结构的基础成分,用于制备具有高介电常数、高光电响应性和可控铁电性能的薄膜。

在 PLZT 系统中,镧(La)的引入能够改善材料晶粒结构、降低矫顽电场、提升响应速度,使 PbLaZr 靶材具有优异的薄膜工程价值。该靶材广泛用于光电器件、铁电存储器、透明铁电薄膜、MEMS 器件以及电光调制器。


产品详情(Detailed Description)

PbLaZr 靶材通常采用高纯 PbO、La₂O₃ 与 ZrO₂ 粉体经严格化学计量配比,通过冷等静压(CIP)成型与真空烧结(Vacuum Sintering)或热压(Hot Pressing, HP)制备。材料具有良好致密度、均匀的微观相结构和稳定的化学成分。

典型规格:

  • 纯度(Purity):99.9%–99.99%

  • 成分(Composition):Pb–La–Zr 比例可按需求定制,如 PLZT 前驱配方

  • 直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm(支持 1″ / 2″ / 3″)

  • 厚度(Thickness):3–6 mm

  • 致密度(Density):≥95% 理论密度(TD)

  • 烧结工艺:CIP + 真空烧结 / HP

  • 背板(Bonding):可提供 Cu/Ti 背板或铟焊,以提升散热性能

材料性能优势:

  • 高介电性能基础

  • 有助于薄膜降低矫顽电场

  • 支持高速电光响应(Electro-optic Response)

  • 化学与相结构稳定

  • 成膜均匀性佳,颗粒发生率低


应用领域(Applications)

铅镧锆靶材作为 PLZT 体系的重要组成部分,在光电与铁电领域具有重要意义:

1. 电光薄膜(Electro-optic Films)

PLZT 薄膜广泛用于:

  • 电光调制器

  • 光开关

  • 液晶快门

  • 光学通信组件

2. 铁电薄膜与存储器(Ferroelectric Films & FeRAM)

  • 铁电存储器

  • 可变电容器

  • 铁电逻辑器件

3. 透明铁电薄膜(Transparent Ferroelectrics)

适用于:

  • 光电集成器件

  • 显示技术(如透明驱动器件)

4. MEMS 与执行器(MEMS & Actuators)

  • 微驱动器

  • 压电薄膜电子器件

5. 功能陶瓷与材料研究(Advanced Ceramics & R&D)

用于晶相调控、介电响应、光电耦合与能带工程研究。

兼容 RF / DC 磁控溅射、共溅射、反应溅射(O₂、N₂) 等方式。


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9%–99.99% 保证铁电和电光性能稳定性
成分 Pb–La–Zr 可定制 满足 PLZT 与相关薄膜设计
直径 Ø25–300 mm 适配各种溅射腔体
厚度 3–6 mm 影响溅射寿命与沉积速率
致密度 ≥95% TD 提升薄膜均匀性、降低颗粒
背板 Cu/Ti/In 焊 提升散热与结构强度

相关材料对比(Comparison)

材料 特点 应用方向
PbLaZr 高介电、高光电响应、可调铁电性 电光薄膜、PLZT 功能膜
PbZr 铁电薄膜基础 PZT前驱材料
PZT(PbZrTiO₃) 压电性强、铁电性能优异 MEMS、传感器、执行器
BaTiO₃ 高介电常数 电容与介电层
La 掺杂氧化物 晶粒细化、稳定结构 光学与高温材料

常见问题(FAQ)

问题 答案
PbLaZr 靶材一般使用 RF 还是 DC? 大多数情况下使用 RF 溅射,陶瓷材料对 RF 更稳定。
是否可以根据 PLZT 配方定制比例? 可以按 2/52/48、3/65/35 等常规配方定制,也可按客户配方生产。
Pb 是否会在溅射中挥发? 建议采用补偿设计或控制氧分压以稳定 Pb 成分。
能否用于透明铁电薄膜? 可以,PLZT 是典型透明铁电材料体系。
是否适合共溅射? 完全支持,可与 Ti、La、Zr 等单靶同步共溅射形成 PLZT。
大尺寸靶材是否需要背板? 建议 Cu/Ti 背板提升热管理能力。
储存条件如何? 真空密封、避光、防潮保存效果最佳。

包装(Packaging)

所有铅镧锆靶材均采用:

  • 真空密封防氧化

  • 防震泡沫保护

  • 出口级硬盒/木箱包装

  • 唯一产品批号追踪

确保运输与储存过程中的稳定与洁净。


结论(Conclusion)

铅镧锆靶材(PbLaZr)作为 PLZT 系列薄膜的关键基础材料,广泛应用于电光调制器、铁电存储器、透明薄膜器件及高介电应用。苏州科跃材料科技有限公司可根据工艺需求提供不同配比、尺寸及背板结构,满足科研或工业薄膜制备需求。

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