铂银靶材（PtAg）

产品简介（Introduction）

铂银靶材（PtAg）由铂（Pt）与银（Ag）组成，是一种兼具贵金属化学稳定性、高导电性与优良光学特性的功能性合金靶材。Pt 提供极强的化学惰性、耐腐蚀性与高温稳定性，Ag 则赋予材料优异的导电性与反射性能，两者的合金结构使 PtAg 薄膜在光学、电学、抗腐蚀和界面工程等方面具有极高性能表现。

PtAg 被广泛用于光学镀膜、电极材料、微电子器件、传感器、抗腐蚀薄膜和贵金属功能层，是高端光电与半导体应用的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

材料特性

• 高纯度（99.9%–99.99%）：保证薄膜低缺陷率

• 优异的化学稳定性与抗腐蚀能力（来自 Pt）

• 高反射率与高导电性（来自 Ag）

• 薄膜附着力强、界面性能稳定

• 高温与真空环境下保持结构完整性

• 适用于 DC、RF 与磁控溅射

可定制成分

• Pt90Ag10

• Pt80Ag20

• Pt70Ag30

• Pt50Ag50

• 其他配比如需调控光学、电学性能可进一步定制

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm（可做更薄）

• 形状：圆靶、方靶、矩形靶

• 背板结合：Cu、Ti、In-bonding

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 µm（可提供镜面抛光级别）

应用领域（Applications）

1. 光学镀膜（Optical Coatings）

PtAg 兼具高反射率与高稳定性，是高端光学膜的核心材料之一：

• 可见光与红外反射膜

• 激光器保护膜

• 多层光学结构膜

• 高耐蚀光学界面层

2. 半导体与微电子（Semiconductor & Microelectronics）

• 高可靠性电极

• 传感器金属层

• 扩散阻挡结构

• 贵金属互连层

• 高温器件保护膜

Pt 的高熔点与稳定性使合金薄膜具备极佳的可靠性。

3. 传感器与电极材料（Sensors & Electrodes）

• 化学/气体传感器

• 生物传感器电极

• 电化学应用用贵金属薄膜

银的导电性 + 铂的稳定性，使 PtAg 成为高端电极选择。

4. 功能薄膜与科研应用

• 贵金属多层膜结构

• 纳米光学应用

• 表面等离子体结构（Plasmonics）

• 高端耐蚀薄膜

• 特殊电阻薄膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. PtAg 薄膜的反射率高吗？
Ag 是高反射金属，PtAg 的反射性能优于纯 Pt，并更耐腐蚀。

2. 是否可用于高温工艺？
可以，Pt 的加入显著提高薄膜稳定性。

3. 是否支持大尺寸靶材？
可提供 4″、6″、8″、12″ 等全尺寸靶材。

4. PtAg 是否易氧化？
Pt 抑制 Ag 的氧化，使薄膜长期稳定。

5. 是否提供检测报告？
提供 ICP、XRF、密度、粗糙度等检测项目。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空封装（防氧化）

• 防静电袋 + 防震泡棉

• 出口专用加固纸箱/木箱

• 每件附专属批次编号，支持全程追溯

结论（Conclusion）

铂银靶材（PtAg）结合了铂的耐腐蚀性与银的高导电、高反射性能，是光电、半导体、传感器及贵金属膜结构中的高端材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制成分的 PtAg 溅射靶材，适用于科研、高端制造与量产。