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铂铱靶材（PtIr）是一种由铂（Pt）与铱（Ir）组成的高贵金属合金靶材，拥有极高的化学稳定性、高温强度、抗腐蚀性以及优异的导电导热性能。PtIr 合金因其超强耐腐蚀性和优异薄膜一致性，在半导体制造、光学镀膜、生物医疗器件、传感器和精密电子领域被广泛应用。
铱的加入显著提升了铂的高温机械性能和硬度，使 PtIr 成为需要长期稳定运行与严苛环境薄膜的优选靶材。
苏州科跃材料科技有限公司生产的 PtIr 靶材采用高纯度铂、铱原料，通过真空熔炼、均质化、粉末冶金和热等静压（HIP）工艺制造。靶材致密度高、成分均匀、无裂纹和夹杂，保障溅射薄膜的一致性和可靠性。
纯度：99.95%（3N5）– 99.99%（4N）
成分比例：常用 Pt90Ir10、Pt80Ir20、Pt70Ir30（可定制）
尺寸范围：Ø25–Ø200 mm，可定制矩形靶材
厚度范围：1–6 mm
致密度：≥98–99.5% T.D.
制造工艺：真空熔炼 / CIP + HIP
背板（Bonding）：可提供 Cu、Mo、Ti 背板与铟焊工艺（In Bonding）
超高耐氧化、耐酸碱腐蚀
高温稳定性强（Ir 熔点 2466°C）
薄膜附着力优异，结构均匀
膜层电阻稳定、长期可靠
有效提升薄膜抗迁移能力
铂铱靶材广泛应用于科研、高端制造和极端环境薄膜应用：
半导体电极（Electrodes）
阻挡层（Barrier Layers）
生物医疗器件（Bio-medical Coatings）
传感器金属层（Sensors）
封装用贵金属薄膜
光学镀膜（Optical Thin Films）
高温腐蚀环境用保护膜
MEMS 器件贵金属薄膜
Ir 的加入大幅增强薄膜耐久性，使 PtIr 薄膜成为高可靠性应用的理想选择。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分 | PtIr（可定制） | 影响硬度、耐腐蚀性与导电性 |
| 纯度 | 99.95%–99.99% | 高纯贵金属靶材 |
| 致密度 | ≥98–99.5% T.D. | 保证膜层致密一致 |
| 尺寸 | Ø25–Ø200 mm | 对应主流溅射设备 |
| 厚度 | 1–6 mm | 可按需求定制 |
| 背板 | Cu/Mo/Ti/In | 提升散热避免开裂 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| PtIr | 高耐腐蚀、高温稳定性，结构强度高 | 生物医疗、传感、半导体 |
| Pt | 极高化学稳定性 | 电极、光学镀膜 |
| Ir | 高硬度、高熔点 | 特种功能薄膜 |
| PtAu | 高导电、稳定性好 | 微电子、光学薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| PtIr 的常见比例有哪些？ | Pt90Ir10 最常用，其他比例可按需求定制。 |
| 溅射方式是否有限制？ | RF、DC、脉冲溅射均可。 |
| PtIr 薄膜颜色如何？ | 银白色金属光泽，随 Ir 含量略微变深。 |
| 是否提供背板？ | 可选 Cu/Mo/Ti 背板，支持铟焊。 |
| 是否提供 COA？ | 是，每批提供纯度、密度、显微结构等检测。 |
真空密封
内层抗震泡棉保护
外层出口级木箱
每片靶材附唯一批号和 COA
铂铱靶材（PtIr）凭借高温、高稳定性与卓越的耐腐蚀性，是高端电子与光学薄膜应用中不可替代的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密 可定制的 PtIr 靶材，适用于科研和工业生产。
如需报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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