铁镓靶材（FeGa）

产品简介（Introduction）

铁镓靶材（FeGa）是一种由铁（Fe）与镓（Ga）组成的功能性金属合金靶材，以其独特的磁致伸缩性能、稳定的磁性调控能力和良好的力学特性，在磁性薄膜、电磁器件、声学器件以及先进传感领域中具有重要应用价值。

FeGa（Galfenol）材料具有高饱和磁致伸缩系数、高磁导率、良好延展性及稳定的结构特性，能够在薄膜沉积过程中形成致密、均匀、附着力强的功能薄膜，是当前磁性功能涂层研究的重要材料之一。

产品详情（Detailed Description）

FeGa 靶材由高纯 Fe、Ga 原料经真空熔炼、粉末冶金（PM）、CIP/HIP 热等静压与精密机加工制备而成，特色如下：

• 高纯度 ≥99.9%

• 高致密度 ≥97%

• 微观组织均匀、无偏析

• 溅射过程稳定、颗粒率低

• 成膜磁性稳定，磁畴分布一致

• 可按照应用需求定制 Fe/Ga 原子比

常见成分配比：

• Fe81Ga19

• Fe80Ga20

• Fe73Ga27（可提升磁致伸缩性能）

规格可定制：

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 形状：圆形靶 / 矩形靶

• 背板结合：Cu 背板、Ti 背板或 In 焊

应用领域（Applications）

磁致伸缩薄膜（Magnetostrictive Films）

• 传感器、驱动器

• 微机电系统（MEMS）

• 声学器件、超声换能器

磁性与微电子薄膜

• 可调磁性薄膜

• 强磁回复装置

• 磁阻传感器结构

• 微机电磁性功能层

能量采集 / 智能材料

• 磁能量采集器件

• 振动能量转化薄膜

• 智能响应材料系统

科研实验与新材料开发

• FeGa 薄膜磁致伸缩效应研究

• 磁性薄膜多物理耦合作用研究

• 功能薄膜的微结构调控与优化

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. FeGa 靶材的磁致伸缩性能是否稳定？
是的，通过控制 Fe/Ga 比例可获得高稳定性磁致伸缩薄膜。

2. 是否适用于 RF 与 DC 溅射？
均适用，并兼容磁控溅射。

3. 是否可以定制不同成分？
可以，例如 Fe73Ga27、Fe81Ga19 均可按需求生产。

4. 薄膜颗粒率是否低？
高致密靶材可显著减少颗粒，获得更平滑薄膜。

5. 可否提供 ICP 成分分析报告？
可随货提供 ICP/密度/外观检测等报告。

6. 大尺寸靶材是否支持？
支持 4–12 英寸及矩形靶定制。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封包装，防氧化

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱或木箱

• 单件产品附唯一批次与可追溯编码

结论（Conclusion）

铁镓靶材（FeGa）是磁致伸缩材料、智能材料与先进磁性薄膜技术的关键靶材。凭借其卓越的磁致伸缩性能、成膜一致性与可控的成分配比，为高端传感器、MEMS 器件及科研实验提供了稳定的材料基础。

如需获取报价或技术参数，请联系：
sales@keyuematerials.com