钼铝靶材（MoAl）

产品简介（Introduction）

钼铝靶材（MoAl）由钼（Mo）与铝（Al）组成，是一种兼具高硬度、高熔点、轻量化、良好耐腐蚀性与优异膜层附着力的多功能合金靶材。Mo 赋予高强度、高温稳定性与优良硬度，Al 则提供轻质特性、抗氧化能力与更佳的薄膜致密性，使 MoAl 成为结构强化膜、阻挡层、保护涂层等高端薄膜应用的重要材料。

MoAl 常用于半导体金属化工艺、硬质保护膜、光学功能薄膜以及耐磨耐蚀结构层，是研发与量产中常见的工程级溅射材料。

产品详情（Detailed Description）

MoAl 靶材采用高纯 Mo 与 Al 原料，经精确配比、球磨混合、冷等静压（CIP）成型，再通过真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）制备，使靶材达到高致密度（≥95–98% TD）、低氧含量、高均匀性的薄膜沉积要求。

典型规格：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.95%

• 常见比例（Mo/Al Composition）：

  • Mo90Al10

  • Mo85Al15

  • Mo80Al20

  • 可定制任意 Mo/Al 比例

• 直径（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm（可提供薄靶）

• 致密度（Density）：95–98% 理论密度

• 工艺（Process）：CIP + Sintering / HIP

• 背板（Bonding Options）：

  • Cu 背板

  • Ti 背板

  • 铟焊（Indium Bonding）

材料特点：

• Mo 提供高温性能与机械强度

• Al 提供良好成膜性、轻质与抗氧化能力

• 成膜颗粒低，附着性优异

• 可用于反应性溅射（MoAl-N、MoAl-O 薄膜）

• 与玻璃、金属、陶瓷、Si 等基底兼容

• 膜层致密、耐磨、耐腐蚀性强

应用领域（Applications）

1. 半导体薄膜（Semiconductor Thin Films）

• 阻挡层（Barrier Layer）

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 过渡金属膜层

• MEMS 结构材料

2. 工程与保护薄膜（Engineering & Protective Coatings）

• 抗磨损金属膜

• 抗腐蚀保护膜

• 高温机械保护膜

• 高硬度结构层

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 多层金属保护膜

• 红外反射膜

• 结构增强中间层

4. 科研与材料开发（R&D Applications）

MoAl 常用于：

• Mo-Al 固溶体薄膜研究

• 耐高温硬质材料开发

• MoAl 氧化物/氮化物功能膜

• 多层膜结构工程设计

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装与交付（Packaging）

• 真空密封

• 防氧化、防潮包装

• 多层防震结构

• 出口级木箱或硬箱

• 每片靶材附唯一批号与质检记录

结论（Conclusion）

钼铝靶材（MoAl）凭借高温稳定性、优异机械强度、抗氧化性与良好成膜效果，在半导体、机械保护膜与光学薄膜应用中具有极高价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供从小尺寸研发到大尺寸量产的全规格 MoAl 靶材解决方案。

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