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钼钛蒸发材料通常采用高纯钼与高纯钛为原料,通过真空熔炼或合金化烧结工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量受控。
纯度等级:常见为 99.9%(3N)–99.99%(4N),满足高端薄膜沉积对低杂质的要求
合金比例:Mo/Ti 比例可按质量比或原子比定制,用于调节薄膜的热稳定性、应力状态与电学性能
高温性能:钼元素显著提升材料在高温环境下的结构稳定性与抗蠕变能力
蒸发一致性:合金化设计有助于改善多组分蒸发行为,降低成分偏析,提升膜层一致性
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源
合理的材料与工艺控制可有效提高薄膜的致密度、附着力及沉积过程的可重复性。
钼钛蒸发材料在多个高端薄膜与工程应用中具有典型用途,包括:
半导体薄膜沉积:高温金属层、扩散阻挡层、过渡层
电子与微电子器件:结构金属薄膜、电极层
功能镀膜与表面工程:耐热、耐蚀功能涂层
能源与先进制造:高稳定性电极薄膜、界面调控层
科研实验:高熔点合金薄膜、热稳定性与结构性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 合金成分 | Mo–Ti(比例可定制) | 决定薄膜热稳定性与附着性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响薄膜缺陷与长期可靠性 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 尺寸范围 | 1 – 10 mm(颗粒)或定制 | 影响蒸发速率与稳定性 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流真空系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钼钛蒸发材料(MoTi) | 高温稳定性与附着力兼顾 | 高可靠性功能薄膜 |
| 纯钼(Mo) | 高熔点、高温强度 | 高温结构薄膜 |
| 纯钛(Ti) | 附着力优异 | 粘附与过渡层 |
| 钼铝(MoAl) | 成膜性更好 | 功能与结构膜 |
Q1:MoTi 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,尤其适合中高温及高功率条件。
Q2:MoTi 薄膜的主要优势是什么?
A:兼具优异的高温稳定性、良好附着力和致密膜层结构。
Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据薄膜应用需求定制不同 Mo/Ti 比例。
Q4:与纯钼薄膜相比有何不同?
A:MoTi 在保持高温性能的同时,显著改善膜层附着力与蒸发稳定性。
Q5:是否适合长时间连续蒸发?
A:适合,蒸发行为稳定,适用于连续或批量沉积。
Q6:膜层附着力表现如何?
A:对硅、玻璃、金属及陶瓷基底具有良好附着性能。
Q7:是否可用于多层或复合薄膜结构?
A:可以,常作为过渡层或高温功能层使用。
Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:高熔点合金薄膜、界面工程及热稳定性研究。
所有钼钛蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,结合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。
钼钛蒸发材料(MoTi)通过将钼的高温结构优势与钛的附着与成膜优势有机结合,为高可靠性薄膜沉积提供了一种稳定、可控的合金解决方案。在对热稳定性、附着力和长期可靠性要求严格的真空蒸发与电子束蒸发应用中,MoTi 是一种值得信赖的蒸发材料选择。
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