钴靶材(Co)

钴靶材(Co Sputtering Target)

产品简介(Introduction)

钴(Cobalt, Co)是一种具有强磁性、优异耐腐蚀性与良好热稳定性的金属,是磁性薄膜、半导体、电极层及耐磨涂层领域中的重要材料。钴靶材常用于制备磁记录膜、传感器薄膜、Co基合金膜及功能性涂层,在微电子、光学与能源行业中具有不可替代的地位。

产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度钴靶材(纯度99.9%–99.99%),采用真空熔炼、热等静压(HIP)或冷等静压(CIP)工艺制造,保证靶材致密度高、组织均匀、无裂纹、无夹杂。
钴靶材可制成 圆形、矩形、环形及异形规格,兼容 DC / RF 磁控溅射系统,在薄膜沉积过程中具有极高的稳定性。
可为高功率溅射提供 铜(Cu)、钛(Ti)、铟焊(In Bonded)背板,提升热传导效率与机械强度,延长靶材使用寿命。

技术优势

  • 高纯度(3N–4N),提升薄膜磁性、导电及结构稳定性;

  • 高致密度,表面平整,溅射均匀性优异;

  • 溅射速率稳定,适用于高端磁性镀膜;

  • 可制备CoFe、CoNi、CoCr等磁性与功能合金薄膜;

  • 多种尺寸、形状及背板结构可定制。

应用领域(Applications)

1. 磁性薄膜

  • 磁记录介质(MRAM、硬盘磁头)

  • 软磁合金薄膜(CoFe、CoNi)

  • GMR / TMR 器件结构层

2. 半导体与电子器件

  • 扩散阻挡层

  • 金属互连与电极层

  • 高频电子元件材料

3. 光学与防护涂层

  • 耐磨膜、吸收膜

  • 表面强化涂层

  • 高温防护膜

4. 能源与功能材料

  • 电极薄膜(氢存储、催化电极)

  • Co基复合材料膜

5. 科研方向

  • Co掺杂氧化物、氮化物、碳化物薄膜

  • 多层结构磁性薄膜研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.99% 提高薄膜磁性与电学稳定性
直径 Ø25–Ø300 mm,可定制 适配主流溅射系统
厚度 3–6 mm 决定沉积速率与靶材寿命
密度 ≥ 8.90 g/cm³ 致密性高,薄膜均匀性佳
制备工艺 真空熔炼 + HIP / CIP 组织稳定,减少颗粒脱落
背板结合 Cu / Ti / In 焊接 提升散热效率,适合高功率

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
钴(Co) 强磁性、稳定性优异 磁性薄膜、电极层
镍(Ni) 良好延展性,可作合金层 电子器件、电镀层
钴镍合金(CoNi) 更佳软磁性能 磁阻膜、传感器
钴铬(CoCr) 高耐磨性 光学与防护膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
钴靶材适用于哪些溅射方式? 适用于DC与RF磁控溅射系统。
Co薄膜具有什么特性? 具有强磁性、良好附着性及稳定结构。
是否可与其他金属共溅射? 可以,如CoFe、CoNi、CoCr等功能合金膜。
是否易氧化? 钴相对稳定,但建议真空密封保存。
是否可进行背板焊接? 可提供Cu/Ti/In焊接方案。
是否兼容各种基底? 兼容玻璃、Si、金属基底等多种材料。
能否定制异形尺寸? 可根据图纸加工任意形状。
包装方式? 真空密封 + 防震包装 + 出口木箱。

包装与交付(Packaging)

所有钴靶材均:

  • 真空密封

  • 贴附批次溯源码

  • 使用防震与防潮保护

  • 外层采用出口级包装确保运输安全

结论(Conclusion)

钴靶材凭借优异的磁性、耐腐蚀性与结构稳定性,是磁性薄膜、半导体及功能涂层制备中的核心材料之一。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的Co靶材,并可提供专业背板焊接,确保薄膜沉积质量稳定可靠。

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📧 sales@keyuematerials.com