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钴(Cobalt, Co)是一种具有强磁性、优异耐腐蚀性与良好热稳定性的金属,是磁性薄膜、半导体、电极层及耐磨涂层领域中的重要材料。钴靶材常用于制备磁记录膜、传感器薄膜、Co基合金膜及功能性涂层,在微电子、光学与能源行业中具有不可替代的地位。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度钴靶材(纯度99.9%–99.99%),采用真空熔炼、热等静压(HIP)或冷等静压(CIP)工艺制造,保证靶材致密度高、组织均匀、无裂纹、无夹杂。
钴靶材可制成 圆形、矩形、环形及异形规格,兼容 DC / RF 磁控溅射系统,在薄膜沉积过程中具有极高的稳定性。
可为高功率溅射提供 铜(Cu)、钛(Ti)、铟焊(In Bonded)背板,提升热传导效率与机械强度,延长靶材使用寿命。
高纯度(3N–4N),提升薄膜磁性、导电及结构稳定性;
高致密度,表面平整,溅射均匀性优异;
溅射速率稳定,适用于高端磁性镀膜;
可制备CoFe、CoNi、CoCr等磁性与功能合金薄膜;
多种尺寸、形状及背板结构可定制。
磁记录介质(MRAM、硬盘磁头)
软磁合金薄膜(CoFe、CoNi)
GMR / TMR 器件结构层
扩散阻挡层
金属互连与电极层
高频电子元件材料
耐磨膜、吸收膜
表面强化涂层
高温防护膜
电极薄膜(氢存储、催化电极)
Co基复合材料膜
Co掺杂氧化物、氮化物、碳化物薄膜
多层结构磁性薄膜研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 提高薄膜磁性与电学稳定性 |
| 直径 | Ø25–Ø300 mm,可定制 | 适配主流溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定沉积速率与靶材寿命 |
| 密度 | ≥ 8.90 g/cm³ | 致密性高,薄膜均匀性佳 |
| 制备工艺 | 真空熔炼 + HIP / CIP | 组织稳定,减少颗粒脱落 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In 焊接 | 提升散热效率,适合高功率 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钴(Co) | 强磁性、稳定性优异 | 磁性薄膜、电极层 |
| 镍(Ni) | 良好延展性,可作合金层 | 电子器件、电镀层 |
| 钴镍合金(CoNi) | 更佳软磁性能 | 磁阻膜、传感器 |
| 钴铬(CoCr) | 高耐磨性 | 光学与防护膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 钴靶材适用于哪些溅射方式? | 适用于DC与RF磁控溅射系统。 |
| Co薄膜具有什么特性? | 具有强磁性、良好附着性及稳定结构。 |
| 是否可与其他金属共溅射? | 可以,如CoFe、CoNi、CoCr等功能合金膜。 |
| 是否易氧化? | 钴相对稳定,但建议真空密封保存。 |
| 是否可进行背板焊接? | 可提供Cu/Ti/In焊接方案。 |
| 是否兼容各种基底? | 兼容玻璃、Si、金属基底等多种材料。 |
| 能否定制异形尺寸? | 可根据图纸加工任意形状。 |
| 包装方式? | 真空密封 + 防震包装 + 出口木箱。 |
所有钴靶材均:
真空密封
贴附批次溯源码
使用防震与防潮保护
外层采用出口级包装确保运输安全
钴靶材凭借优异的磁性、耐腐蚀性与结构稳定性,是磁性薄膜、半导体及功能涂层制备中的核心材料之一。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的Co靶材,并可提供专业背板焊接,确保薄膜沉积质量稳定可靠。
如需了解更多技术参数或报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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