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钴镍靶材(CoNi)由钴(Co)与镍(Ni)组成,是一种具有优异磁性、耐腐蚀性与良好成膜性能的二元合金靶材。Co 提供高机械强度、磁性能与稳定的金属结合性,而 Ni 具有优良延展性、抗腐蚀能力与电学稳定性。两者结合形成的 CoNi 薄膜在磁性器件、电子结构层、功能涂层以及真空镀膜技术中具有广泛应用。
由于其磁性可调、膜层致密、稳定性优异,CoNi 已成为磁性薄膜、电子器件与工程功能膜的重要靶材之一。
CoNi 靶材通常通过粉末冶金工艺制备,包括混料、球磨、冷等静压(CIP)、真空烧结或热等静压(HIP),可达到 95–99% TD 的高致密度,有利于减少溅射颗粒、提升薄膜均匀性与工艺稳定性。
纯度(Purity):99.9% – 99.99%
常见配比(Composition):
Co50Ni50
Co60Ni40
Co70Ni30
接受所有 Co/Ni 配比定制
尺寸(Diameter):Ø25 – 300 mm
厚度(Thickness):3 – 6 mm,可做薄靶
致密度(Density):≥95–99% TD
工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP
可选背板(Bonding):In 焊(Indium Bonding)、Cu 背板、Ti 背板
可调磁性(软磁 / 中磁),适用于磁应用
成膜均匀,稳定性高
硬度适中,结合力强
优异耐腐蚀、电学稳定性好
颗粒率低,适用于高要求薄膜系统
支持 DC / RF 溅射
软磁结构层
多层磁阻结构(GMR/TMR)
传感器磁性膜
磁记录技术
CoNi 是磁应用中常用的可调磁性材料。
电极层
扩散阻挡层
接触层
结构强化层
耐腐蚀金属膜
耐磨结构层
表面增强膜
结构支撑层
金属反射增强层
光学耐蚀保护膜
合金磁性调控研究
自旋电子学(Spintronics)
CoNi-O、CoNi-N 反应性薄膜开发
| 参数 | 范围 / 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 薄膜缺陷率低,电学稳定 |
| Co/Ni 比例 | 可定制 | 调控磁性与结构性能 |
| 致密度 | ≥95–99% TD | 高致密减少颗粒生成 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响沉积寿命 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 提升散热与机械稳定性 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| CoNi | 调磁性佳、成膜均匀 | 磁性薄膜、电子器件 |
| Ni | 延展性强、耐腐蚀 | 电极与结构层 |
| Co | 强磁性、耐磨 | 磁性器件、保护膜 |
| CoCr | 高耐蚀性 | 工程保护膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CoNi 是否有磁性? | 是,可通过比例调节磁性强弱。 |
| 是否支持 RF 溅射? | 完全支持。 |
| 配比能否定制? | 可以按磁性或结构要求定制比例。 |
| 是否适用于传感器结构? | 是,广泛用于磁传感技术。 |
| 是否容易产生颗粒? | 高致密度 CoNi 靶材颗粒率低。 |
| 是否可用于反应性溅射? | 可用于氧化物、氮化物反应性沉积。 |
真空密封
多层防震保护
防氧化储存
出口级木箱包装
每片附唯一批次号与检验报告
钴镍靶材(CoNi)凭借可调磁性、良好成膜性、耐腐蚀性与结构稳定性,在磁性薄膜、电子器件、光学膜层与工程防护应用中表现出色。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯高致密 CoNi 靶材,并支持定制成分与背板焊接。
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