钴镍靶材(CoNi)

钴镍靶材(CoNi)

产品简介(Introduction)

钴镍靶材(CoNi)由钴(Co)与镍(Ni)组成,是一种具有优异磁性、耐腐蚀性与良好成膜性能的二元合金靶材。Co 提供高机械强度、磁性能与稳定的金属结合性,而 Ni 具有优良延展性、抗腐蚀能力与电学稳定性。两者结合形成的 CoNi 薄膜在磁性器件、电子结构层、功能涂层以及真空镀膜技术中具有广泛应用。

由于其磁性可调、膜层致密、稳定性优异,CoNi 已成为磁性薄膜、电子器件与工程功能膜的重要靶材之一。


产品详情(Detailed Description)

CoNi 靶材通常通过粉末冶金工艺制备,包括混料、球磨、冷等静压(CIP)、真空烧结或热等静压(HIP),可达到 95–99% TD 的高致密度,有利于减少溅射颗粒、提升薄膜均匀性与工艺稳定性。

典型参数与规格

  • 纯度(Purity):99.9% – 99.99%

  • 常见配比(Composition)

    • Co50Ni50

    • Co60Ni40

    • Co70Ni30

    • 接受所有 Co/Ni 配比定制

  • 尺寸(Diameter):Ø25 – 300 mm

  • 厚度(Thickness):3 – 6 mm,可做薄靶

  • 致密度(Density):≥95–99% TD

  • 工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP

  • 可选背板(Bonding):In 焊(Indium Bonding)、Cu 背板、Ti 背板

主要性能优势

  • 可调磁性(软磁 / 中磁),适用于磁应用

  • 成膜均匀,稳定性高

  • 硬度适中,结合力强

  • 优异耐腐蚀、电学稳定性好

  • 颗粒率低,适用于高要求薄膜系统

  • 支持 DC / RF 溅射


应用领域(Applications)

1. 磁性薄膜(Magnetic Thin Films)

  • 软磁结构层

  • 多层磁阻结构(GMR/TMR)

  • 传感器磁性膜

  • 磁记录技术

CoNi 是磁应用中常用的可调磁性材料。


2. 半导体与电子薄膜(Semiconductor & Electronics)

  • 电极层

  • 扩散阻挡层

  • 接触层

  • 结构强化层


3. 工程功能涂层(Engineering Films)

  • 耐腐蚀金属膜

  • 耐磨结构层

  • 表面增强膜


4. 光学薄膜(Optical Coatings)

  • 结构支撑层

  • 金属反射增强层

  • 光学耐蚀保护膜


5. 科研与材料开发(R&D)

  • 合金磁性调控研究

  • 自旋电子学(Spintronics)

  • CoNi-O、CoNi-N 反应性薄膜开发


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 数值 说明
纯度 99.9–99.99% 薄膜缺陷率低,电学稳定
Co/Ni 比例 可定制 调控磁性与结构性能
致密度 ≥95–99% TD 高致密减少颗粒生成
厚度 3–6 mm 影响沉积寿命
背板 Cu / Ti / In 提升散热与机械稳定性

对比(Comparison)

材料 特性 应用
CoNi 调磁性佳、成膜均匀 磁性薄膜、电子器件
Ni 延展性强、耐腐蚀 电极与结构层
Co 强磁性、耐磨 磁性器件、保护膜
CoCr 高耐蚀性 工程保护膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
CoNi 是否有磁性? 是,可通过比例调节磁性强弱。
是否支持 RF 溅射? 完全支持。
配比能否定制? 可以按磁性或结构要求定制比例。
是否适用于传感器结构? 是,广泛用于磁传感技术。
是否容易产生颗粒? 高致密度 CoNi 靶材颗粒率低。
是否可用于反应性溅射? 可用于氧化物、氮化物反应性沉积。

包装(Packaging)

  • 真空密封

  • 多层防震保护

  • 防氧化储存

  • 出口级木箱包装

  • 每片附唯一批次号与检验报告


结论(Conclusion)

钴镍靶材(CoNi)凭借可调磁性、良好成膜性、耐腐蚀性与结构稳定性,在磁性薄膜、电子器件、光学膜层与工程防护应用中表现出色。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯高致密 CoNi 靶材,并支持定制成分与背板焊接。

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