钴镍铬靶材（CoNiCr）

产品简介（Introduction）

钴镍铬靶材（CoNiCr）是一种由钴（Co）、镍（Ni）和铬（Cr）组成的多元高性能合金靶材，具有优异的耐腐蚀性、韧性、结构稳定性及良好的热机械性能。三元合金体系中的镍提供良好的延展性与成膜特性，钴带来磁性与耐磨性，而铬显著提升抗氧化和耐腐蚀性能，使 CoNiCr 在功能性薄膜、工程防护膜、磁性材料及高温工况应用中表现突出。

CoNiCr 是一种广泛用于半导体、光学镀膜、电子工程和结构保护膜的多用途靶材，适合恒定输出与高稳定性薄膜沉积。

产品详情（Detailed Description）

钴镍铬靶材多采用粉末冶金工艺，包括混料、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP），可实现 95–99% 理论密度（TD）的致密结构。高致密度确保溅射过程中的颗粒率低、膜层均匀性好，并能保持较高机械强度与导热性能。

典型参数：

• 纯度：99.9% – 99.99%

• 常见成分（可定制）：

  • Co33Ni33Cr34

  • Co40Ni30Cr30

  • Co50Ni30Cr20

• 直径：Ø25 – 300 mm

• 厚度：3 – 6 mm（支持薄靶）

• 致密度：≥95–99% TD

• 工艺：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板：Cu / Ti / In Bonding

材料特性：

• 极强的耐腐蚀和抗氧化性能（Cr 的贡献）

• 高韧性与良好的结构稳定性

• 均匀成膜、低颗粒率

• 可用于 DC / RF 磁控溅射

• 具备磁性调控优势（Co / Ni）

• 适合要求高的工程、电子与功能性薄膜

应用领域（Applications）

1. 工程保护膜（Engineering Coatings）

• 耐腐蚀金属膜

• 机械防护涂层

• 结构加固薄膜

• 摩擦学与耐磨应用

2. 电子与半导体薄膜（Electronics & Semiconductors）

• 扩散阻挡层

• 粘附层

• 多层金属结构

• 高温电子器件保护膜

3. 磁性薄膜（Magnetic Films）

• 弱磁性功能膜

• 传感器薄膜

• 磁阻层（MR 结构）

4. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 结构保护层

• 中间层

• 耐腐蚀光学薄膜

5. 高温工况材料（High-Temperature & Corrosion-Resistant Films）

• 高温气氛下的金属保护膜

• 超耐腐蚀合金薄膜

• 工业耐热结构膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

FAQ（常见问题）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂吸湿保护

• 防震泡沫固定

• 出口级硬质包装

• 单片靶材附唯一批号及材料检测记录

结论（Conclusion）

钴镍铬靶材（CoNiCr）是一种兼具耐腐蚀、高韧性、成膜稳定性和磁性调控能力的多功能三元靶材，在半导体、工程膜、光学镀膜及磁性薄膜中均具有重要应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度的 CoNiCr 靶材，支持配比定制及背板焊接。

如需指导或报价，请联系：
📩 sales@keyuematerials.com