钴镍钒靶材（CoNiV）

产品简介（Introduction）

钴镍钒靶材（CoNiV）由钴（Co）、镍（Ni）与钒（V）三种金属组成，是一种兼具磁性调控能力、高结构稳定性、优异耐腐蚀性能与可调电学性能的多元合金溅射靶材。
Co–Ni–V 三元体系可形成高稳定固溶结构，成膜一致性强，在磁性薄膜、电极材料、耐腐蚀保护膜、自旋电子结构、微电子互连和功能涂层中表现优异。

薄膜具有可控磁性、良好附着力、组成均匀及低应力特性，是先进功能薄膜设计的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

钴镍钒靶材采用高纯 Co、Ni、V 原料，通过真空熔炼、粉末冶金、CIP/HIP、扩散合金化与精密车磨等工艺制备，保证致密度高、结构均匀、溅射稳定性强。

常规可供规格：

• 纯度：99.9%–99.99%

• 成分比：CoNiV（如 Co40Ni40V20、Co33Ni33V34，可定制）

• 直径：Φ25–Φ300 mm

• 厚度：3–6 mm（可按需求更薄/更厚）

• 致密度：≥97%

• 背板结合方式：铜背板（Cu）、钛背板（Ti）、铟焊（In bonding）

材料性能优势：

• 稳定固溶结构，成分均匀性优

• 可调磁性，可形成软磁或弱磁薄膜

• 膜层致密性高、颗粒低

• 耐腐蚀性能强（V 的加入可改善抗化学性）

• 导电性能良好，适用于电极结构

• 高温稳定性佳，适合退火工艺

• 与 Si、玻璃、陶瓷、金属氧化物基底广泛兼容

应用领域（Applications）

磁性薄膜与自旋电子学（Spintronics）

• 调磁层（magnetic tuning layer）

• 缓冲层 / 界面控制层

• 软磁薄膜

• 多层磁性叠层配方研究

微电子与导电薄膜

• 电极层 / 接触层

• 互连结构

• 过渡层 / 粘附层

保护涂层、耐磨薄膜

• 抗腐蚀膜

• 耐磨结构膜

• 高温功能膜

先进材料与科研用途

• 三元合金体系薄膜研究

• 多相协同效应研究

• 涂层应力优化实验

CoNiV 特别适用于需要“磁性可控 + 强度可调 + 耐腐蚀”的高端薄膜工程。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. CoNiV 膜层磁性强吗？
可通过调节成分比增强或降低磁性，可形成软磁或弱磁薄膜。

2. 成分可以定制吗？
可以，根据电阻率、磁性或附着力需求定制比例。

3. 是否适用于 RF 和 DC 溅射？
适用于 RF、DC 和磁控溅射。

4. CoNiV 是否耐腐蚀？
钒的加入显著提升抗氧化和抗腐蚀性。

5. 是否可用于电极材料？
可，导电性良好且附着力高。

6. 是否支持 8–12 英寸大尺寸靶材？
完全支持。

7. 是否随货提供检测报告？
可提供 ICP 成分分析、纯度、密度、外观检测等报告。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱/木箱

• 独立批次编号可追溯

结论（Conclusion）

钴镍钒靶材（CoNiV）凭借可调磁性、优异耐腐蚀性能和强结构稳定性，在磁性薄膜、电极层、耐磨保护膜及新型功能材料研究中表现突出。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密度、规格可定制的 CoNiV 靶材，是科研与工业生产的可靠选择。

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