钴铬铁镍锰靶材（CoCrFeNiMn）

产品简介（Introduction）

钴铬铁镍锰靶材（CoCrFeNiMn）是一种典型的高熵合金靶材，由五种过渡金属元素等摩尔或近等摩尔比例组成。作为高熵合金体系中最经典的材料之一，它以面心立方结构（FCC）、优异的结构稳定性、高耐腐蚀性、良好的热稳定性、均匀的相组成以及卓越的力学性能而闻名。

在薄膜沉积中，CoCrFeNiMn 靶材被广泛用于先进材料研究、耐磨/耐腐蚀功能膜层、电极强化层、微电子材料开发、热障薄膜工程以及高性能结构薄膜制备。其成膜稳定性和元素均匀性使其成为科研和工业应用中备受关注的高端溅射靶材。

产品详情（Detailed Description）

高熵合金 CoCrFeNiMn 靶材采用高纯原料，经真空熔炼、粉末冶金、CIP/HIP 热等静压、精密机加工等多步骤制备，确保结构单一（FCC 相）、成分均匀及高致密度。

可提供规格：

• 纯度：99.9% – 99.99%

• 成分比例：CoCrFeNiMn（可做等摩尔配比或客户指定配比）

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm（支持更薄）

• 致密度：≥97%

• 背板结合方式：铜背板（Cu）、钛背板（Ti）、铟焊（In bonding）

材料性能优势：

• 均匀 FCC 固溶结构，成膜一致性强

• 多元素体系带来优异的耐腐蚀与抗氧化性能

• 热稳定性优异，可耐受高温处理

• 低颗粒溅射、膜面平整度佳

• 与各种基底兼容，包括 Si、玻璃、陶瓷、金属氧化物

• 可调成分比以改变薄膜力学、电学和化学性能

应用领域（Applications）

高熵合金 CoCrFeNiMn 靶材在多个先进领域有广泛应用：

先进结构功能薄膜

• 耐磨保护膜

• 抗腐蚀薄膜

• 高强度薄膜

• 超稳结构涂层

微电子材料研究

• 互连材料

• 阻挡层 / 扩散抑制薄膜

• 电极强化层

高熵合金研究（科研主力材料）

• FCC 相稳定性研究

• 元素分布效应

• 机械强化机制探索

• 多元体系薄膜调控研究

能源与真空技术

• 高温真空薄膜

• 燃料电池防腐蚀层

• 等离子体装置保护膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. 高熵合金 CoCrFeNiMn 有哪些特点？
具有单一 FCC 固溶体结构、优异耐腐蚀、良好高温稳定性和高强度。

2. 是否能做非等摩尔配比？
可以，如 Co20Cr20Fe20Ni20Mn20 以外的成分均可按需求定制。

3. CoCrFeNiMn 是否适合 RF 与 DC 溅射？
都适用，并兼容磁控溅射系统。

4. 薄膜是否易出现颗粒？
高致密度靶材可显著减少颗粒率，改善膜表面质量。

5. 是否可用于高温应用？
可以，该材料本身具有优异高温稳定性。

6. 支持 8–12 英寸大靶吗？
完全支持，也可制成矩形靶或阶梯靶。

7. 是否有检测报告？
附 ICP 成分分析、密度、显微结构等报告。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封包装

• 防震泡棉固定

• 出口级木箱或抗压纸箱

• 单件独立编号可追溯

结论（Conclusion）

钴铬铁镍锰靶材（CoCrFeNiMn）作为最典型的高熵合金薄膜材料，具备卓越的结构稳定性、耐腐蚀性与成膜一致性，是科研探索与工业镀膜中极具潜力的靶材体系。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、多规格定制的 CoCrFeNiMn 靶材，满足高端研发及量产需求。

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