钴钽锆靶材（CoTaZr）

产品简介（Introduction）

钴钽锆靶材（CoTaZr）是一种由钴（Co）、钽（Ta）和锆（Zr）组成的高性能多元合金溅射靶材，属于典型的软磁金属材料。其薄膜兼具软磁特性、高耐腐蚀性、出色的热稳定性以及优良的力学强度，因此被广泛应用于磁性薄膜、 MEMS 器件、磁阻传感器、自旋电子学（Spintronics）以及 高频磁性结构中。

Ta 的加入显著提升薄膜的抗腐蚀能力和高温稳定性，Zr 则改善结构致密度并降低应力，而 Co 提供核心磁特性，使 CoTaZr 薄膜在高频与精密磁学应用中表现优异。

产品详情（Detailed Description）

材料特性

• 优异的软磁特性
  磁导率高、矫顽力低，适用于高频磁性薄膜。

• 高耐腐蚀性（Ta 增强）
  适用于苛刻环境与长期稳定性需求。

• 出色的热稳定性
  在退火和高温工艺后仍保持磁性一致。

• 低内应力薄膜（Zr 调节结构）
  改善附着力与稳定性。

• 溅射稳定、颗粒率低
  适合 CMOS 工艺、薄膜线路及 MEMS 工业化生产。

• 兼容 DC、RF、磁控溅射

典型成分（可定制）

• Co70Ta20Zr10

• Co65Ta25Zr10

• Co60Ta20Zr20

• 或根据磁性、应力与环境性能需求定制。

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶 / 矩形靶

• 背板结合：铜（Cu）、钛（Ti）、铟焊（In Bonding）

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 µm（可精抛光）

应用领域（Applications）

1. 高频磁性器件（RF & High-frequency Devices）

CoTaZr 是行业内应用最广泛的软磁薄膜之一，用于：

• 高频磁性薄膜

• 射频通信模块

• 磁屏蔽结构

• 高频扼流薄膜

2. 自旋电子学（Spintronics）

适用于：

• 磁阻式传感器（MR Sensor）

• 自旋阀结构（Spin Valve）

• AMR / GMR / TMR 器件

• 磁性功能层

3. MEMS 与微电子器件

• 微型磁力传感器

• 高频微磁组件

• 机械结构保护膜

• 微机电功能薄膜

4. 数据存储与磁记录

• 读写磁头薄膜

• 高频响应磁性结构膜

5. 工业防护薄膜

• 耐腐蚀保护层

• 机械强化膜层

• 高温抗氧化功能薄膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. CoTaZr 是否适合高频磁性应用？
是的，CoTaZr 是射频磁性薄膜非常成熟的材料。

2. 是否能定制不同 Co/Ta/Zr 比例？
可以，根据矫顽力、电阻率、耐蚀性进行精确配方设定。

3. 是否适用于 RF 和 DC 溅射？
两者均适用，磁控溅射表现稳定。

4. 能提供 8” 或 12” 靶材吗？
完全支持，可用于量产设备。

5. 能否提供检测数据？
可提供 XRF、ICP、密度、粗糙度、磁性测试等报告。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封（防氧化）

• 防静电袋

• 防震泡棉保护

• 出口级木箱/纸箱

• 每件靶材含唯一批次追踪编号

结论（Conclusion）

钴钽锆靶材（CoTaZr）是一种高稳定性、耐腐蚀的软磁合金靶材，特别适用于高频磁性薄膜、MEMS、自旋电子器件与精密磁学结构。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制配比的 CoTaZr 靶材，适用于科研与工业量产。