钯蒸发材料(Pd)

产品详情(Detailed Description)

  • 纯度控制:常规提供 3N–4N 高纯钯蒸发材料,有效降低杂质引入,提升薄膜电学与化学性能。

  • 材料特性:熔点约 1555 °C,蒸气压适中,蒸发行为稳定,易于精确控制沉积速率。

  • 形态规格:可提供颗粒、片状、块状或定制形态,兼容电阻加热蒸发舟与电子束蒸发源。

  • 成膜优势:钯薄膜致密均匀,与多种基底(Si、SiO₂、玻璃、陶瓷等)具有良好附着力。

  • 工艺适配性:适用于高真空及超高真空环境,适合科研实验与小批量高附加值应用。

应用领域(Applications)

  • 半导体与微电子

    • 电极层、接触层

    • 功能金属薄膜

  • 传感器技术

    • 氢气传感薄膜

    • 功能响应型金属层

  • 光电与显示

    • 光学反射层

    • 特殊功能镀膜

  • 科研与实验室

    • 贵金属薄膜研究

    • 表面与界面物性研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
化学成分 Pd 贵金属功能材料
纯度 99.9% – 99.99% 提升薄膜稳定性
熔点 ~1555 °C 易于稳定蒸发
蒸发方式 热蒸发 / 电子束蒸发 工艺兼容性高
形态 颗粒 / 块状 / 定制 适配不同蒸发源

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
钯(Pd) 化学稳定、对氢敏感 传感器、电极薄膜
铂(Pt) 高稳定性、耐腐蚀 高可靠电极
金(Au) 优异导电性 通用电极与互连

常见问题(FAQ — 聚焦应用)

Q1:钯蒸发材料适合哪种蒸发工艺?
A:可用于电阻加热蒸发与电子束蒸发系统,适配主流真空镀膜设备。

Q2:钯薄膜的典型用途是什么?
A:常用于电极层、功能金属层以及氢敏感薄膜。

Q3:钯在薄膜中的稳定性如何?
A:钯具有优异的化学稳定性,适合长期工作环境。

Q4:是否支持小尺寸或特殊形态定制?
A:支持根据蒸发源与工艺需求进行定制。

Q5:更适合科研还是工业应用?
A:既适合科研实验,也适合小批量、高附加值工业应用。

包装与交付(Packaging)

所有钯蒸发材料在出厂前均经过严格质量检查,并采用真空密封或惰性气体保护包装,配合防震与出口级包装方案,确保材料在运输与储存过程中的安全与洁净。

结论(Conclusion)

钯蒸发材料凭借稳定的蒸发性能、优良的成膜质量及独特的功能特性,在微电子、传感器与高端科研薄膜制备中发挥着重要作用,是贵金属蒸发材料体系中的关键组成之一。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com