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纯度控制:常规提供 3N–4N 高纯钯蒸发材料,有效降低杂质引入,提升薄膜电学与化学性能。
材料特性:熔点约 1555 °C,蒸气压适中,蒸发行为稳定,易于精确控制沉积速率。
形态规格:可提供颗粒、片状、块状或定制形态,兼容电阻加热蒸发舟与电子束蒸发源。
成膜优势:钯薄膜致密均匀,与多种基底(Si、SiO₂、玻璃、陶瓷等)具有良好附着力。
工艺适配性:适用于高真空及超高真空环境,适合科研实验与小批量高附加值应用。
半导体与微电子
电极层、接触层
功能金属薄膜
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氢气传感薄膜
功能响应型金属层
光电与显示
光学反射层
特殊功能镀膜
科研与实验室
贵金属薄膜研究
表面与界面物性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学成分 | Pd | 贵金属功能材料 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 提升薄膜稳定性 |
| 熔点 | ~1555 °C | 易于稳定蒸发 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 工艺兼容性高 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 钯(Pd) | 化学稳定、对氢敏感 | 传感器、电极薄膜 |
| 铂(Pt) | 高稳定性、耐腐蚀 | 高可靠电极 |
| 金(Au) | 优异导电性 | 通用电极与互连 |
Q1:钯蒸发材料适合哪种蒸发工艺?
A:可用于电阻加热蒸发与电子束蒸发系统,适配主流真空镀膜设备。
Q2:钯薄膜的典型用途是什么?
A:常用于电极层、功能金属层以及氢敏感薄膜。
Q3:钯在薄膜中的稳定性如何?
A:钯具有优异的化学稳定性,适合长期工作环境。
Q4:是否支持小尺寸或特殊形态定制?
A:支持根据蒸发源与工艺需求进行定制。
Q5:更适合科研还是工业应用?
A:既适合科研实验,也适合小批量、高附加值工业应用。
所有钯蒸发材料在出厂前均经过严格质量检查,并采用真空密封或惰性气体保护包装,配合防震与出口级包装方案,确保材料在运输与储存过程中的安全与洁净。
钯蒸发材料凭借稳定的蒸发性能、优良的成膜质量及独特的功能特性,在微电子、传感器与高端科研薄膜制备中发挥着重要作用,是贵金属蒸发材料体系中的关键组成之一。
如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:sales@keyuematerials.com
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