钪靶材（Sc Sputtering Target）

产品简介

钪（Scandium, Sc）是一种轻质银白色稀土过渡金属，具有优异的热稳定性、电导率与化学惰性。作为高性能溅射材料，钪靶材被广泛应用于半导体、光电子、薄膜显示与新能源领域。由于其能够改善薄膜的结晶质量与电学性能，钪在Al-Sc合金薄膜、氧化钪（Sc₂O₃）透明导电膜等制备中起着关键作用。

产品详情

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度钪靶材（纯度99.9%–99.99%），采用真空熔炼、热等静压（HIP）及精密机械加工工艺制备。靶材具有优良的致密度与溅射均匀性，可用于直流（DC）和射频（RF）磁控溅射系统。
可选配铜（Cu）、钛（Ti）或铟焊（In Bonded）背板以增强散热与机械强度。产品规格包括圆形、矩形、环形及异形靶材。

技术特点

• 高纯度（3N–4N），低氧低氮杂质；

• 致密均匀的微结构，溅射稳定性高；

• 优异的膜层附着性与厚度均匀性；

• 支持大尺寸靶材及复合靶设计；

• 可与氧化物、氮化物共溅射制备功能薄膜。

应用领域

• 半导体工业：用于Al-Sc合金导电膜及接触层；

• 光电子与显示：用于OLED、TFT与透明导电膜；

• 能源材料：用于燃料电池膜、电极材料及功能薄膜；

• 光学镀膜：用于反射层与高折射率光学膜；

• 科研实验：用于Sc掺杂氧化物、氮化物功能薄膜研究。

技术参数

常见问题（FAQ）

结论

钪靶材凭借其优异的电学、光学与化学稳定性，在新一代半导体、光电子与能源技术中发挥着重要作用。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度的钪靶材及背板结合服务，确保优异的膜层性能与稳定的溅射效率。

如需了解更多技术参数或获取报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com