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钨(Tungsten,W)是一种典型的难熔金属,以其极高的熔点、优异的高温强度、低蒸气压和卓越的热稳定性而著称。钨蒸发材料在高温真空蒸发、电子束蒸发以及特殊功能薄膜制备中具有不可替代的地位,广泛应用于半导体、真空电子、光学镀膜及先进材料研究领域。
作为蒸发材料,钨在高温条件下表现出极佳的尺寸稳定性和成分稳定性,特别适合 电子束蒸发(E-beam Evaporation) 以及高功率蒸发工艺,是制备高致密金属膜和功能薄膜的重要材料。
钨蒸发材料采用高纯金属钨粉或钨锭为原料,经粉末冶金、烧结与精加工工艺制备,严格控制杂质含量,确保蒸发过程稳定可控。
化学符号: W
原子量: 183.84
纯度: 99.9% – 99.999%(3N–5N,可定制)
熔点: ~3422 °C
沸点: ~5555 °C
蒸气压: 极低(高温下稳定)
形态: 颗粒 / 小块 / 片状 / 丝材 / 定制形态
适用蒸发方式: E-beam Evaporation(推荐) / 高温热蒸发
兼容蒸发源: 水冷铜坩埚、电子束蒸发源、钨舟(特殊工况)
高纯钨蒸发材料可显著降低杂质引入,提升薄膜的结构致密度、电学稳定性和耐高温性能。
金属互连层
阻挡层与扩散阻挡层
接触层与电极薄膜
真空电子器件金属薄膜
高温结构功能层
高功率电子束蒸发涂层
反射层与功能金属膜
红外与特殊光学系统金属层
多层光学结构中的金属中间层
难熔金属薄膜研究
高温物性实验
与氧化物、氮化物形成复合薄膜结构
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 决定薄膜电学与结构性能 |
| 熔点 | ~3422 °C | 适合极高温蒸发 |
| 沸点 | ~5555 °C | 蒸发过程稳定 |
| 蒸气压 | 极低 | 膜层成分稳定 |
| 形态 | 粒 / 块 / 丝 / 片 | 适配不同蒸发源 |
| 推荐工艺 | E-beam | 高效率、高可控性 |
| 材料 | 主要特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| W | 超高熔点、稳定 | 高温金属薄膜 |
| Mo | 熔点高、易加工 | 电极与互连 |
| Ta | 耐腐蚀性强 | 阻挡层 |
| Re | 高温强度优异 | 特殊高端应用 |
| Ti | 反应性强 | 粘附层 |
钨适合热蒸发吗?
由于熔点极高,通常推荐使用电子束蒸发。
是否可提供 5N 高纯钨?
可以,适用于半导体与科研应用。
钨蒸发材料常见形态有哪些?
常见为颗粒、块状、片状和钨丝,可定制。
是否适合制备致密金属膜?
是的,钨膜致密、稳定、耐高温。
是否支持定制尺寸与形态?
支持,根据蒸发源和工艺需求定制。
真空密封或惰性气体保护包装
防氧化、防污染处理
抗震包装
出口级运输标准
随附 COA 与批次追溯信息
钨蒸发材料(W)凭借其极高熔点、卓越的热稳定性和极低蒸气压,在高温真空蒸发、电子束蒸发及先进薄膜制备中占据关键地位。高纯钨蒸发材料能够显著提升薄膜质量与工艺可靠性,是半导体、真空电子与科研领域中不可或缺的难熔金属材料。
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