钡锶蒸发材料(BaSr)

钡锶蒸发材料(Barium–Strontium Evaporation Material,BaSr 合金体系)是一类典型的碱土金属复合蒸发材料,主要用于高介电常数氧化物、钙钛矿结构薄膜以及先进电子功能材料的制备。Ba 与 Sr 同属 II 族元素,其协同引入可在保持晶格稳定性的同时,实现介电性能、相结构与温度稳定性的精细调控

在真空蒸发与 PVD 工艺中,BaSr 通常作为金属前驱源,在受控氧气环境中形成 Ba–Sr–O 体系薄膜,是制备 BST(BaₓSr₁₋ₓTiO₃) 等高介电与可调介电材料的重要基础蒸发材料。

产品详情(Detailed Description)

钡锶蒸发材料由高纯钡(Ba)与高纯锶(Sr)按指定比例进行真空合金化或复合冶炼制备,并经均化处理与精密成形,适用于高真空热蒸发与电子束蒸发工艺。
Ba 提供高极化能力与高介电潜力,Sr 用于调节晶格常数与居里温度,使薄膜性能更加稳定、可设计。

  • 化学组成:Ba–Sr 合金

  • 常见配比:Ba/Sr 原子比或质量比可定制(对应 BST 体系)

  • 纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N,单质纯度控制)

  • 材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸

  • 制造工艺:高纯原料 → 真空合金化 → 均化处理 → 成形

高品质 BaSr 蒸发材料有助于:

  • 实现 Ba 与 Sr 元素的同步、稳定引入;

  • 降低多源蒸发带来的成分漂移;

  • 提升高介电薄膜的成分一致性;

  • 满足可调介电与微波器件对材料精度的要求。

应用领域(Applications)

  • 高介电常数薄膜:BST(BaₓSr₁₋ₓTiO₃)体系

  • 微波与射频器件:可调电容、相移器

  • DRAM 与存储器件:高 k 介电层

  • 传感器与致动器:介电与功能层

  • 科研实验:钙钛矿氧化物与相变研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
化学组成 Ba–Sr 合金 决定前驱成分
Ba/Sr 比例 可定制 调控介电性能
纯度 99.9% – 99.99% 降低漏电与缺陷
形态 块状 / 颗粒 / 定制 适配不同蒸发源
适用工艺 热蒸发 / 电子束蒸发 前驱合金常用
包装方式 真空密封 防止氧化与吸湿

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
钡锶(BaSr) 成分可调、介电稳定 BST 薄膜
纯钡(Ba) 极化能力强 高 k 材料
纯锶(Sr) 结构稳定 晶格调控
镧锶(LaSr) A 位掺杂 磁性与导电薄膜

常见问题(FAQ — 聚焦应用)

Q1:BaSr 主要用于金属薄膜还是氧化物薄膜?
A:主要作为金属前驱材料,用于反应沉积或后氧化形成氧化物薄膜。

Q2:Ba/Sr 比例是否关键?
A:非常关键,直接影响介电常数与温度稳定性。

Q3:适合哪种蒸发方式?
A:高真空热蒸发与电子束蒸发均适用。

Q4:材料是否易氧化?
A:是的,Ba 与 Sr 都较活泼,需严格真空或惰性保护。

Q5:是否适合科研级实验?
A:非常适合,广泛用于 BST 与高 k 材料研究。

Q6:沉积过程中是否需要氧气?
A:制备氧化物时需受控氧分压。

Q7:是否支持定制比例与小批量?
A:支持,满足科研与中试需求。

Q8:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率。

Q9:材料如何储存?
A:真空或惰性气体密封,避免空气暴露。

Q10:是否可提供相关前驱材料?
A:可提供 BaCa、BaTi、SrTi、LaSr 等。

包装与交付(Packaging)

所有钡锶蒸发材料(BaSr)在出厂前均经过成分与纯度检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲与惰性保护包装,确保运输与储存过程中材料成分稳定、表面洁净、蒸发性能可靠。

结论(Conclusion)

钡锶蒸发材料(BaSr)作为高介电与钙钛矿功能氧化物的重要前驱蒸发材料,在可调介电器件、微波电子与先进存储材料研究中具有不可替代的作用。对于需要精确控制 Ba/Sr 比例、开展高 k 材料设计与器件验证的薄膜沉积应用,BaSr 是一种专业、可靠且高度科研导向的蒸发材料选择。

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