钛锆靶材（TiZr）

产品简介（Introduction）

钛锆靶材（TiZr）是由钛（Ti）与锆（Zr）组成的高稳定性金属合金溅射靶材，具有优异的耐腐蚀性、良好的力学性能、高温结构稳定性，以及在薄膜沉积中表现出的高附着力与低应力特性。Ti 与 Zr 原子半径接近、化学行为相似，因此 TiZr 合金具有良好的固溶特性，适用于制备均匀、致密、低缺陷的功能薄膜。

TiZr 被广泛应用于半导体、光学镀膜、核材料研究、传感器、装饰涂层以及高温结构薄膜等先进制造领域。

产品详情（Detailed Description）

材料特性

• 高纯度（99.5%–99.99%），薄膜缺陷少

• 高致密度（≥97%），溅射过程颗粒率低

• 均匀的 Ti-Zr 固溶体结构

• 极佳耐腐蚀性与氧化稳定性

• 适用于高温与真空环境

• 成膜应力低、附着力出色

• 支持 DC / RF / 磁控溅射

常见成分比例

• Ti90Zr10

• Ti80Zr20

• Ti70Zr30

• 或根据客户电学/薄膜结构需求定制 Ti/Zr 比例

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm（支持薄靶）

• 形状：圆靶、矩形靶、弧形靶

• 纯度：3N–4N

• 背板选项：铜 Cu、钛 Ti、铟焊 In-bonding

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 μm（可提供精抛版）

应用领域（Applications）

1. 半导体与微电子

TiZr 因为电学稳定与附着性强，用于：

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 扩散阻挡层

• 介电层与金属层之间的界面结构

• 多层金属堆栈中的过渡层

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

TiZr 可形成高致密、光学性能稳定的薄膜：

• 反射膜

• 抗反射膜（AR）

• 中红外薄膜

• 光学结构保护层

3. 耐腐蚀与耐高温薄膜

Ti 与 Zr 都具有高化学稳定性，适用于：

• 耐腐蚀涂层

• 抗氧化高温膜

• 真空与核工业材料界面层

4. 科研实验薄膜

• 金属固溶体研究

• 多层结构膜沉积

• 应力调控与薄膜稳定性研究

• 功能性合金薄膜开发

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. TiZr 是否适用于 RF 和 DC 溅射？
是的，适用于所有主流 PVD 工艺。

2. TiZr 与纯 Ti 相比有什么优势？
TiZr 薄膜更稳定、耐腐蚀性更强，长期可靠性更佳。

3. 能否制备大尺寸靶材？
可提供 4″、6″、8″、12″ 等主流尺寸。

4. 配比可以定制吗？
完全支持，根据电阻率、附着需求调节 Ti/Zr 比例。

5. 是否提供检测报告？
可提供 ICP、密度、粗糙度等数据。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 内部防震泡棉

• 外箱为出口级包装

• 全程附批次标签可追踪

结论（Conclusion）

钛锆靶材（TiZr）兼具轻质金属与难熔金属的性能优势，在半导体、光学、耐腐蚀涂层、结构薄膜及科研领域具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、成分可定制的 TiZr 靶材，满足科研及量产需求。