钛铟靶材（TiIn）

产品简介（Introduction）

钛铟靶材（TiIn）由钛（Ti）与铟（In）组成，是一种兼具优异附着性、可调电学性能与良好成膜均匀性的金属合金靶材。Ti–In 体系因其在薄膜黏附性、导电性调控、氧化稳定性以及复合功能薄膜开发中表现出显著优势，广泛用于半导体工艺、光学镀膜、电极层材料、阻挡层和先进功能薄膜研究。

钛元素赋予薄膜更高的附着力与强度，铟则提供良好的导电性与光学特性，使 TiIn 靶材适用于需要兼具机械稳定性与电学性能的薄膜应用。

产品详情（Detailed Description）

钛铟靶材采用高纯金属粉末，经冷等静压（CIP）成型和真空烧结/热压烧结（HP）工艺制成，具有高致密度、均匀组织和稳定成分分布，可在 RF/DC 磁控溅射下保持稳定的沉积速率。

典型规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 直径（Diameter）：Ø25 – Ø300 mm（可定制 1″ / 2″ / 3″）

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm

• 成分比例（Composition）：Ti/In 可按需求定制（常见如 Ti30In70、Ti50In50）

• 工艺：CIP + 真空烧结 / 热压烧结

• 致密度（Density）：≥95% TD

• 背板（Bonding）：可提供 Cu / Ti 背板、铟焊或扩散焊

产品优势：

• 高附着力薄膜

• 更低颗粒率（Particles）

• 稳定导电性与可调光学性能

• 良好的耐腐蚀与抗氧化能力

• 适合大面积溅射与量产工艺

应用领域（Applications）

钛铟靶材在光电与半导体行业中具有广泛应用，典型领域包括：

1. 半导体薄膜（Semiconductors）

• 电极材料

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 金属过渡层、阻挡层（Barrier Layer）

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

用于调节折射率、改善膜层附着性，常见于：

• 光学窗口

• 反射镜

• 光学滤光膜

3. 显示与光电材料

• 显示器薄膜结构

• 透明导电层（与 In 体系兼容）

4. 功能薄膜

• 电阻调控薄膜

• 耐磨薄膜

• 多层结构复合膜

5. 科研薄膜开发

适用于成分调控、应力调节、界面工程等研究。

兼容 RF / DC 磁控溅射、共溅射、反应溅射（O₂ / N₂）。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

每片钛铟靶材出厂前均：

• 真空密封防氧化

• 进行纯度与外观检测

• 使用防震泡沫保护

• 装入出口级硬纸箱或木箱

• 附带唯一批次编号和追踪标签

确保运输过程安全、洁净、无损伤。

结论（Conclusion）

钛铟靶材（TiIn）作为一种电学与机械性能均衡的复合金属靶材，可稳定应用于光电、半导体及多功能薄膜领域。苏州科跃材料科技有限公司提供定制配比、定制尺寸以及专业背板键合方案，是科研机构和高科技企业的可靠供应伙伴。

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