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钛铝硅靶材（TiAlSi）是由钛（Ti）、铝（Al）和硅（Si）三种元素组成的高性能金属间化合物靶材，具有优异的耐腐蚀性、热稳定性、高硬度及良好的成膜均匀性。在 PVD / 溅射技术中，TiAlSi 是高端硬质涂层、耐磨保护膜、阻挡层以及电子器件功能薄膜的重要靶材。
该材料常用于制备 TiAlSiN、TiAlSiON 等高性能氮化物薄膜，具有高硬度（>30 GPa）、优异耐高温氧化性能（>900°C）、低摩擦及出色的抗磨损性能，广泛应用于半导体、切削工具、模具、光学镀膜及高端机械工程领域。
TiAlSi 靶材采用高纯原材料，经真空熔炼、粉末冶金（PM）、CIP、HIP、均质扩散和精密机械加工制备：
特点：
高致密度（≥98%）
微结构均匀，无偏析
氧含量低，薄膜缺陷率低
高温下保持强度与化学稳定性
溅射过程中稳定、不易产生颗粒
可定制不同 Ti/Al/Si 比例，满足膜层性能调控需求
常见成分比例：
Ti70Al25Si5
Ti60Al35Si5
Ti50Al45Si5
可按需求配比 Ti-Al-Si 三元比例
可供规格：
纯度：99.5%–99.99%
直径：Φ25–Φ300 mm
厚度：3–6 mm（可定制更薄）
形状：圆靶、矩形靶
背板选择：Cu、Ti、In 焊接
表面粗糙度（Ra）< 0.8 μm（可提供极低粗糙度版本）
TiAlSi 是制备高性能 TiAlSiN/TiAlSiON 的核心靶材，具有：
超高硬度（>3000 HV）
强耐磨性
优异耐高温氧化性（900~1000°C）
适合高速切削、钻削等高负载工况
应用：
刀具涂层（铣刀、钻头、车刀）
冲压模具
高速钢（HSS）工具
硬质合金工具（Carbide Tools）
导电层 / 耐腐蚀层
微纳结构保护膜
功能材料过渡层
阻挡层（Diffusion Barrier）
反射膜
耐磨装饰性涂层（如深灰金属色）
建筑玻璃硬质膜层
热稳定保护层
摩擦、耐磨损结构膜
涡轮、发动机零件表面薄膜
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5%–99.99% | 高纯减少杂质与薄膜缺陷 |
| Ti/Al/Si 比例 | 可定制 | 决定硬度、氧化温度、薄膜颜色 |
| 致密度 | ≥98% | 低颗粒率，膜层均匀性好 |
| 直径 | 25–300 mm | 支持绝大多数溅射机型 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可做长寿命靶材 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 提升散热、结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 典型应用 |
|---|---|---|
| TiAlSi | 高硬度、耐高温、耐腐蚀 | TiAlSiN 刀具膜层 |
| TiAlN | 硬度略低，成本更低 | 刀具与模具涂层 |
| TiSiN | 更高致密性 | 耐磨薄膜、芯片保护层 |
| AlTiN | 适合高温加工（不含 Si） | 高速干切削 |
1. TiAlSi 靶材适合哪些溅射方式？
适用于 DC、RF 与磁控溅射。
2. 常见膜层是什么颜色？
TiAlSiN 通常呈深灰、黑灰至深金属色。
3. 成分可以定制吗？
可以，特别是 Si 含量对膜层硬度与耐温性影响大。
4. 是否适合高功率溅射？
是的，高致密度与热稳定性使其适合长时间高功率沉积。
5. 是否可提供 8–12 英寸大靶材？
支持所有尺寸，包括矩形靶。
6. 是否有检测报告？
可提供 ICP 成分分析、密度、表面粗糙度等报告。
真空封装防氧化
内层防震泡棉固定
外层纸箱或木箱出口包装
每片靶材具有独立追溯编号
钛铝硅靶材（TiAlSi）以其卓越的耐磨、耐高温和高硬度性能，是高端工具涂层、半导体薄膜、光学与结构涂层的理想材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、稳定可靠的 TiAlSi 靶材，满足科研与工业量产需求。
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