钛钴靶材（TiCo）

产品简介（Introduction）

钛钴靶材（TiCo）由钛（Ti）与钴（Co）组成，是一种兼具高强度、优异耐腐蚀性、良好磁性调控能力与高温稳定性的功能合金溅射靶材。Ti 提供轻质、韧性与优良的附着特性，而 Co 具有优良的磁性、耐腐蚀性以及高温稳定性，因此 TiCo 合金可沉积出结构均匀、附着力强、磁性可调的金属薄膜。

TiCo 常用于磁性薄膜、电极薄膜、光电材料、耐腐蚀防护膜以及多层复合功能膜，是科研与工业领域重要的功能金属靶材之一。

产品详情（Detailed Description）

TiCo 靶材采用高纯钛和钴粉末经冷等静压（CIP）压制成型，并在真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）条件下致密化。材料结构稳定、成分均匀、致密度高，适用于高功率磁控溅射，且薄膜颗粒率极低。

典型参数：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 常见成分比例（Composition）：

  • Ti70Co30

  • Ti60Co40

  • Ti50Co50
    （可根据客户工艺需求定制）

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm（1″ / 2″ / 3″ / 4″）

• 厚度（Thickness）：3–6 mm

• 致密度（Density）：≥95–98% TD

• 工艺路线（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可定制 Cu / Ti 背板或铟焊

材料性能优势：

• 薄膜磁性可根据配比调控

• 成膜致密、均匀、低颗粒

• 高温稳定，适用于反应性溅射

• 与玻璃、Si、金属基底结合性佳

• 良好韧性，不易开裂

• 优异耐腐蚀性

应用领域（Applications）

钛钴靶材在磁性材料、光电材料与结构工程膜中的应用非常广泛：

1. 磁性薄膜（Magnetic Films）

TiCo 可用于：

• 自旋电子学薄膜（spintronics）

• 磁记录材料

• 调磁层

• 磁性传感器结构膜

2. 光电器件（Optoelectronics）

• 反射膜

• 电极金属层

• 光学保护膜

• 功能复合薄膜结构

3. 半导体薄膜（Semiconductors）

• 粘附层

• 阻挡层

• 金属复合结构层

4. 防护与工程薄膜（Protective Coatings）

适合：

• 耐磨薄膜

• 耐腐蚀保护层

• 高温环境薄膜

5. 科研与新材料开发

• 金属磁性调控研究

• 多层结构界面设计

• 自定义合金膜系开发

支持 DC/RF 磁控溅射、反应溅射（O₂ / N₂ / Ar）、共溅射。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 防震泡沫结构保护

• 干燥剂防潮

• 出口级硬箱 / 木箱

• 单独批次编号，支持全程追踪

确保靶材在运输与储存过程中的安全、稳定与洁净。

结论（Conclusion）

钛钴靶材（TiCo）因其可调磁性、高附着性与优异耐腐蚀性，在磁性薄膜、光学膜及工程涂层领域中发挥重要作用。苏州科跃材料科技有限公司可根据客户需求提供不同成分、不同尺寸与不同背板结构的 TiCo 靶材，以满足科研与产业薄膜沉积的精密要求。

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