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钕锶靶材(NdSr)由钕(Nd)和锶(Sr)两种元素组成,是一种应用于氧化物薄膜、功能电子材料与能带调控结构的重要稀土金属合金靶材。其独特的稀土电子组态、氧化还原能力以及与碱土金属的固溶行为,使 NdSr 在高介电薄膜、钙钛矿结构材料、光电和传感器薄膜制备中具有显著价值。
Nd 与 Sr 均是构筑 ABO₃ 型钙钛矿材料的核心元素,因此 NdSr 靶材常用于薄膜材料科学研究、稀土掺杂体系、电学调控材料及新型功能薄膜开发。
稀土电子结构特性显著
Nd 的 4f 电子特征使薄膜具备可设计的电子跃迁与光谱表现。
兼容氧化薄膜沉积
Nd–Sr 合金薄膜能与氧气反应形成稳定 Nd–Sr–O 薄膜,是氧化物电子学的关键前驱材料。
良好的成膜均匀性
采用高致密度烧结与精密加工,可实现低颗粒度、低缺陷膜层。
溅射过程稳定
稀土与碱土金属固溶结构有效降低熔点差异造成的溅射不稳定问题。
适用于 DC、RF、磁控溅射
Nd70Sr30
Nd60Sr40
Nd50Sr50
Nd/Sr 比例可根据氧化膜电学与能带设计需求完全定制。
直径:25–200 mm
厚度:2–6 mm
纯度:≥99.9%–99.99%
形状:圆靶 / 矩形靶 / 特殊尺寸
背板可选:Cu / Ti / Mo / In bonding
表面粗糙度:Ra < 0.8 µm(可提供抛光级别)
Nd 和 Sr 是构筑 A 位钙钛矿结构的关键元素,适用于:
钙钛矿氧化物薄膜
功能电介质层
磁、电、光学耦合材料
例如:Nd₁₋ₓSrₓBO₃ 系材料。
NdSr 是开发以下材料的常用靶材之一:
高介电常数薄膜
电阻调控材料
薄膜电路缓冲层
可用于沉积:
光谱调控薄膜
光电转换结构
多层功能叠层膜
Nd/Sr 掺杂调控层
稀土与碱土金属的组合适用于:
气体传感层
电学响应薄膜
氧化物界面设计
| 参数 | 范围 / 典型值 | 技术说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯减少缺陷与杂质 |
| 成分比例 | 可定制 | 影响介电、光学、电学性能 |
| 致密度 | ≥97% | 提高溅射稳定性与均匀性 |
| 直径 | 25–200 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 常规靶材厚度 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热效率和机械强度 |
| 粗糙度 | Ra < 0.8 µm | 提升成膜质量 |
| 材料 | 特点 | 常见用途 |
|---|---|---|
| NdSr | 能带与介电调控,稀土功能性强 | 功能薄膜、钙钛矿结构 |
| Nd₂O₃ | 高介电、高稳定 | 氧化物绝缘层 |
| SrO / SrTiO₃ | 结构稳定、光电特性 | 光电薄膜、介质薄膜 |
| LaSr | 电子导电材料常用体系 | 透明电子学、薄膜电极 |
1. NdSr 是否容易氧化?
属于稀土/碱土材料,表面活性高,但靶材使用真空包装保护,溅射时氧含量可控。
2. 是否适用于 RF 溅射?
推荐 RF,也支持磁控溅射。
3. 成分比例可以调节吗?
可以,根据膜层介电常数、能带结构或电阻率需求调整 Nd/Sr 比例。
4. 是否能用于氧化物薄膜沉积?
非常适合,可在 O₂/Ar 气氛中沉积形成 Nd–Sr–O 薄膜。
5. 是否可以提供分析报告?
支持 ICP、XRD、XRF、密度与粗糙度测试。
真空密封防氧化包装
防静电袋 + 防震泡棉
出口级纸箱 / 木箱
每件靶材附带唯一批号与检测记录
钕锶靶材(NdSr)是一种具有独特光学、电学与氧化物兼容性的稀土合金靶材,广泛应用于钙钛矿薄膜、电介质材料、光电结构与科学研究领域。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、成分可定制的 NdSr 靶材,适用于科研和产业薄膜制程。
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