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钕掺杂钛酸锶衬底（Nd: SrTiO₃）
钕掺杂钛酸锶（Nd: SrTiO₃）衬底是一种高性能单晶材料，具有优异的电学、介电和光学特性。通过在钛酸锶晶格中引入适量的钕离子，可有效调节其导电性能和晶格常数，从而更好地匹配外延薄膜的应变要求。
该衬底广泛应用于高温超导薄膜、铁电薄膜、氧化物电子学器件、光电子器件以及基础物性研究中。它在外延生长过程中可提供优良的晶格匹配与稳定的热膨胀系数，有助于获得高质量薄膜结构。
物理性能
| 性能 | 详情 |
|---|---|
| 材料 | 钕掺杂钛酸锶（Nd: SrTiO₃） |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a ≈ 3.905 |
| 掺杂类型 | 钕（Nd³⁺） |
| 生长方法 | 柯氏拉法（Czochralski）或提拉法 |
| 硬度 | ~6（莫氏） |
| 熔点 | ~2080°C |
| 密度 (g/cm³) | ~5.11 |
| 纯度 | 99.95%（3N5）以上 |
规格参数
| 参数 | 详情 |
|---|---|
| 尺寸 (mm) | 5×5、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 1″、2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光类型 | SSP（单面抛光）或 DSP（双面抛光） |
| 晶向 | <100> 或 <111> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤5Å（AFM测量，5µm × 5µm） |
包装
苏州科跃生产的Nd: SrTiO₃衬底在Class 1000级洁净室内加工和检验，并采用Class 100洁净袋或专用晶圆盒密封包装，以确保运输和储存过程中免受污染。
这种高标准的加工与包装方式确保了衬底在高温超导器件、铁电存储器及先进光电子器件制造中的优异性能表现。
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