钒钨靶材（VW）

产品简介（Introduction）

钒钨靶材（VW）由钒（V）与钨（W）组成，是一种兼具高熔点、强韧性、优异耐腐蚀性和稳定电学性能的难熔金属合金靶材。V–W 合金在高温结构薄膜、硬质涂层、防护膜及功能金属薄膜中表现突出，由于钨的超高熔点和钒的优良延展性，使 VW 靶材成为高强度、高稳定性薄膜制备的核心材料之一。

钒的加入能够有效改善钨的脆性与裂纹敏感性，同时提升薄膜的结合力与结构完整性，使 VW 靶材特别适用于要求高强度、高温稳定性与低缺陷的薄膜应用。

产品详情（Detailed Description）

钒钨靶材采用高纯钒、钨原料，经冷等静压（CIP）成型，并通过真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）进行致密化处理。靶材结构均匀、致密度高，可在高功率溅射条件下保持优异稳定性，且颗粒率低。

典型规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 成分比例（Composition）：如 V10W90、V20W80、V30W70，可按需定制

• 直径（Diameter）：Ø25 – Ø300 mm（支持 1″、2″、3″ 常规尺寸）

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm

• 致密度（Density）：≥95%–98% TD

• 工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可选 Cu/Ti 背板或铟焊

材料优势：

• 极高耐热能力（W 熔点 3410 °C）

• 高强度与良好的韧性平衡

• 抗腐蚀性强，可承受酸、高温气氛

• 薄膜颗粒率低、成膜平稳

• 高硬度与抗磨性

• 适合连续长时间溅射

应用领域（Applications）

钒钨靶材在高温、耐磨、结构应用中具有广泛用途，典型包括：

1. 高温薄膜（High-Temperature Coatings）

• 结构防护膜

• 耐热层

• 航空航天部件薄膜

2. 耐磨与硬质涂层

• 刀具涂层

• 模具表面强化膜

• 摩擦学表面保护层

3. 微电子与半导体

• 金属阻挡层

• 过渡层

• 高强度结构薄膜

4. 防腐蚀薄膜（Corrosion-Resistant Coatings）

适用于：

• 化工环境

• 高温腐蚀介质

• 氧化性环境薄膜

5. 科研与新材料开发

• 金属玻璃体系研究

• 难熔合金薄膜探索

• 多层复合结构

支持 DC/RF 磁控溅射、反应溅射（Ar/O₂/N₂）、共溅射 工艺。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

所有钒钨靶材均采用：

• 真空密封防氧化

• 防震泡沫保护

• 干燥洁净储存

• 出口级硬盒/木箱运输

• 唯一批次编号管理

确保靶材运输安全、洁净无损。

结论（Conclusion）

钒钨靶材（VW）凭借其优异的高温稳定性、结合力、耐磨性与结构可靠性，在航空航天、微电子、工具涂层及功能薄膜中具有关键作用。苏州科跃材料科技有限公司可提供不同成分、不同规格及多种背板形式的 VW 靶材，满足科研与行业客户的高性能薄膜需求。

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