描述
苏州科跃 钇正铝酸盐（YAlO₃）衬底概述
苏州科跃提供高品质钇正铝酸盐（YAlO₃，YAP）衬底，具有优异的晶体结构、高热稳定性以及出色的介电性能。该类衬底非常适合复杂氧化物薄膜的外延生长，广泛应用于铁电、光子学及高温电子器件等领域。
YAlO₃ 衬底在多种钙钛矿结构氧化物材料中表现出卓越的晶格匹配能力，使其成为氧化物电子学及量子材料研究的理想选择。其高热稳定性与化学稳定性确保了在苛刻环境下的可靠性，而较高的折射率与优良的光学透明性则使其非常适用于光学镀膜和光子器件。此外，YAlO₃ 衬底常用于压电及铁电器件制造，对高质量界面的要求尤为适配。
苏州科跃可根据先进科研与器件应用的精确需求，提供定制化 YAlO₃ 衬底，确保材料性能与结构完整性，助力下一代电子、光电子及光子技术的发展。
钇正铝酸盐衬底物理性能
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | YAlO₃ (YAP) |
| 晶体结构 | 正交晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 5.176, b = 5.307, c = 7.355 |
| 熔点 | 1870°C |
| 密度 (g/cm³) | 5.37 |
| 介电常数 | 16–20 |
| 热膨胀系数 | 2–10 × 10⁻⁶ /K |
钇正铝酸盐衬底规格
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 1″、直径 30 mm |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <100>、<010>、<001>、<110> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可选 1°） |
| 晶体角度 | 可根据需求提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
钇正铝酸盐衬底包装
每片衬底均在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装，并在 Class 1000 洁净室内完成包装，以确保最佳品质与性能。
适用于先进科研与工业生产的 YAlO₃ 衬底，以卓越的热稳定性、精密度与多功能性，满足高端应用的严苛需求。
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