钆镓石榴石衬底(GGG)

钆镓石榴石(GGG)衬底

钆镓石榴石(GGG)衬底是一种广泛应用于磁光薄膜领域的特种材料,在光通信器件中具有重要作用。通常在磁场中沉积钇铁石榴石(YIG)或铋铁石榴石(BIG)薄膜,以构成光隔离器的关键部件。

GGG单晶衬底因其能够与磁光材料的晶格高度匹配而被精心选用,可确保YIG和BIG薄膜具有优异的外延生长质量。此外,GGG还可作为微波隔离器制造中的衬底材料。

钆镓石榴石衬底的物理性能

性能 详情
材料 钆镓石榴石(GGG)
晶体结构 立方晶系
晶格常数 (Å) a = 12.376
生长方法 柯氏拉法(Czochralski)
硬度 6.0 – 7.0(莫氏)
纯度 99.95%
熔点 1800°C
密度 (g/cm³) 7.09
折射率 1.95

钆镓石榴石衬底的规格

参数 详情
尺寸 (mm) 10×3、10×5、10×10、15×15、20×15、20×20、直径 2″ × 0.33 mm
厚度 0.5 mm、1.0 mm
抛光类型 SSP 或 DSP
晶向 <111>
定向精度 ±0.5°
边缘定向 2°(特殊:1°)
晶体角度 可定制尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤5Å(5µm × 5µm)

钆镓石榴石衬底的包装

苏州科跃生产的GGG衬底在严格的洁净室条件下包装,以确保高品质。每片衬底均封装于Class 100洁净袋或晶圆盒中,并在Class 1000洁净室内完成封装,以防止在储存和运输过程中受到污染。

这种包装方式确保衬底保持洁净无瑕,可直接用于光学及微波隔离器等高精度应用。