金铂靶材（AuPt）

产品简介（Introduction）

金铂靶材（AuPt）由金（Au）与铂（Pt）构成，是一种兼具优异化学稳定性、高导电性、抗腐蚀性与卓越结构稳定性的贵金属合金靶材。
AuPt 薄膜具有良好的导电性、耐腐蚀性、热稳定性以及优异的黏附能力，广泛应用于半导体电极、传感器金属层、光电器件、微电子互连结构、反射膜和高端功能薄膜制备。

由于 Au 具有极好的化学惰性，而 Pt 贡献更高的结构强度与耐温性，两者组成的 AuPt 合金具有远超单一贵金属的综合性能，适用于高端科研及精密电子行业。

产品详情（Detailed Description）

金铂靶材采用高纯金和铂原材料，通过真空熔炼、均质扩散、粉末冶金（PM）、CIP/HIP 致密化与超精密加工制备。

材料特点：

• 高纯度（≥99.99%），膜层缺陷极低

• 高致密度（≥98%），溅射颗粒率极低

• 优异的化学惰性，适用于极端腐蚀环境

• 优秀附着性，膜层不易剥落

• 优良热稳定性，可用于高温工艺

• Pt 的加入增强硬度及结构强度，使膜层更耐磨

可定制成分：

• Au90Pt10

• Au80Pt20

• Au70Pt30

• 或按客户要求任意 Au/Pt 比例

规格参数：

• 纯度：99.9%–99.99%

• 直径：25–300 mm

• 厚度：2–6 mm

• 形状：圆形靶、矩形靶

• 背板（可选）：Cu / Ti / Mo / In 焊接

应用领域（Applications）

1. 半导体与微电子

• 高稳定性电极层

• 金属互连与焊盘区（Pad Layer）

• 芯片电接触层

• 化学惰性保护层

Pt 的加入可提升膜层可靠性，用于先进封装与 MEMS。

2. 传感器与光电器件

• 生化传感器电极

• 光电元件金属反射层

• 微纳器件中的贵金属功能层

• 红外反射与吸收结构

3. 高端光学薄膜

• 高反射率贵金属光学膜

• 高耐腐蚀镜面结构层

• 精密仪器光学涂层

4. 科研与贵金属材料开发

• Au-Pt 合金相结构研究

• 催化应用相关薄膜

• 纳米结构电极开发

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. AuPt 是否适用于 RF 与 DC 溅射？
两者均可，并支持磁控溅射。

2. 能否定制不同 Au/Pt 比例？
可以，根据电学/机械需求灵活调节。

3. AuPt 膜层的颜色？
随着 Pt 增加，颜色由亮金色 → 金灰色 → 金属灰。

4. 是否支持大尺寸靶材？
支持 6″、8″、12″ 以及矩形靶。

5. 可提供检测报告吗？
可提供 ICP、XRF、密度与显微结构检测。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱/木箱

• 单件唯一编号可追溯

结论（Conclusion）

金铂靶材（AuPt）综合高导电、耐腐蚀、结构稳定性与贵金属惰性，被广泛应用于高端电子、电极、光电器件与科研薄膜。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、成分可定制的 AuPt 溅射靶材，稳定可靠，适用于科研与量产。

如需报价或技术资料，请联系：
sales@keyuematerials.com