碳化锆靶材（ZrC）

产品简介（Introduction）

碳化锆靶材（Zirconium Carbide Sputtering Target，ZrC）是一种高熔点、高硬度、优异耐腐蚀性和优良导电性的陶瓷类靶材，广泛应用于半导体、耐高温薄膜、光学镀膜、硬质涂层以及先进功能材料的薄膜制备中。
ZrC 拥有 极高热稳定性（熔点>3500°C） 与优良化学惰性，可形成致密、耐磨损、耐高温、导电性可调的薄膜，是高端制造和科研领域的重要功能材料。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供的 ZrC 靶材具有如下特点：

• 纯度范围：
  99%–99.9%（2N–3N），可根据需求提供更高纯度。

• 形状与尺寸：

  • 圆形靶：直径 25–300 mm

  • 方形靶、矩形靶：可按图纸定制

  • 厚度：3–6 mm（可定制）

• 制造工艺：

  • 高纯粉末选择（纳米级/亚微米级）

  • 热压烧结（HP）、热等静压（HIP）

  • 高致密度陶瓷烧结（≥95%–99%TD）

  • 精密机械加工与表面研磨
    高致密度 ZrC 可显著减少溅射颗粒、提高薄膜均匀性与致密性。

• 背板结合（可选）：

  • 铜背板（Cu）

  • 钼背板（Mo）

  • 铟焊（In-bonding）
    降低热应力并提升大功率溅射稳定性。

ZrC 靶材表面硬度高、化学稳定性好，可适应高速、高功率、大面积镀膜系统。

应用领域（Applications）

碳化锆靶材主要用于高性能功能薄膜制备，包括：

半导体与微电子

• 导电薄膜

• 高耐温阻挡层

• 电子发射相关材料

光学与光电领域

• 吸收层薄膜

• 热控涂层

• 可见与红外波段吸收/反射薄膜

硬质涂层（PVD/CVD）

• 高耐磨、耐腐蚀涂层

• 刀具涂层、模具涂层

• 高温防护层

新能源与极端环境材料

• 耐高温结构薄膜

• 航空航天热防护材料

• 核材料相关膜层

科研领域

• 电子结构、热稳定性研究

• 金属碳化物体系材料开发

• 多层结构复合膜制备

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 干燥氩气或真空密封

• 防静电袋 + 防震泡沫保护

• 出口级木箱/纸箱

• 单件标记批号与检测报告（COA）

确保运输储存过程中不吸潮、不破损、不污染。

结论（Conclusion）

碳化锆靶材凭借其极高的热稳定性、机械强度与化学惰性，被广泛应用于半导体、高温防护、硬质涂层、光学功能薄膜和前沿材料研究领域。高致密、高纯度的 ZrC 靶材可显著提升薄膜质量、稳定性和重复性，是先进薄膜制备不可或缺的关键材料。

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