碳化铬靶材（CrC）

产品简介（Introduction）

碳化铬靶材（Chromium Carbide Sputtering Target，CrC）是一种优异的耐磨、耐腐蚀、高硬度及高温稳定性的陶瓷靶材，常用于制备抗腐蚀、防磨损和功能性薄膜。CrC 具有较高的熔点和稳定的碳化物结构，可形成致密、附着力强、耐化学腐蚀的功能薄膜，是工具涂层、保护层和光电材料的重要薄膜源材料。

CrC 的薄膜表现出优异的机械强度、化学稳定性和摩擦学特性，在工业应用与科研开发中均具有重要价值。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高致密、高纯度 CrC 靶材，具有以下特点：

• 纯度：
  99%–99.9%（2N–3N）

• 尺寸范围：

  • 圆形靶：直径 25–300 mm

  • 方形、矩形靶：按需定制

  • 厚度：3–6 mm，可按设备要求定制

• 制造工艺：

  • 亚微米级高纯 CrC 粉末

  • 真空热压烧结（HP）成型

  • 热等静压（HIP）进一步提高致密度（≥95%–99% TD）

  • 表面精细研磨（Ra < 0.4 μm）
    高致密 CrC 靶材可有效减少溅射颗粒，提高膜层的均匀性与可靠性。

• 背板结合（可选）：

  • Cu 背板

  • Mo 背板

  • 铟焊（Indium Bonding）
    用于陶瓷靶材散热增强与应力管理，提升高功率溅射稳定性。

CrC 靶材适用于 DC、RF、HiPIMS、IBS 等多种磁控溅射工艺。

应用领域（Applications）

碳化铬靶材因其优秀的抗腐蚀性与耐磨性，广泛应用于：

1. 防腐蚀与耐磨薄膜

• 化工设备保护膜

• 高腐蚀性环境中的功能层

• 高摩擦工况下的耐磨层

2. 工具涂层（PVD Hard Coatings）

• 刀具、冲压模具

• 高负载金属加工部件

• 提升使用寿命与摩擦性能

3. 半导体与微电子材料

• 金属碳化物功能膜

• 导电保护层

• 耐腐蚀阻挡层

4. 光学与光电薄膜

• 黑色吸收膜

• 防腐蚀光学结构膜

• 多层复合光学薄膜

5. 航空航天与高温材料

• 防腐蚀高温保护层

• 耐磨高温功能膜

6. 科研开发

• CrC 基复合结构（CrC/CrN、CrC/TiN 等）

• 表面工程与摩擦学研究

• 高耐磨金属碳化物体系研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 氩气或者真空封装

• 防静电袋保护

• 防震泡沫支撑

• 出口级加固包装

• 附 COA、批号与溯源标签

确保运输与存储过程中的稳定性与洁净度。

结论（Conclusion）

碳化铬靶材凭借其耐磨性、耐腐蚀性与优异结构稳定性，可用于制备高可靠性功能性薄膜，是硬质涂层、光学保护层、电子材料和科研开发中的关键材料。高纯、高致密 CrC 靶材可显著提升膜层质量，是先进薄膜沉积的优良选择。

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