碳化铁靶材（FeC）

产品简介（Introduction）

碳化铁靶材（Iron Carbide Sputtering Target，FeC）是一种兼具金属特性与碳化物性能的功能靶材材料。与传统陶瓷靶材不同，FeC 在保持一定硬度与耐磨性的同时，还具备良好电导率和磁性调控特性，广泛用于磁性薄膜、硬质涂层、功能性电极膜、光吸收层及科研材料体系。

FeC 的结构与性能使其在磁记录材料、传感器、微电子器件、涂层工程以及金属碳化物体系研究中具有重要价值。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度 FeC 靶材，特点如下：

• 纯度：
  99%–99.9%（2N–3N）

• 规格范围：

  • 圆形靶：直径 25–300 mm

  • 方形 / 矩形靶：按需定制

  • 厚度：3–6 mm（可根据设备要求调整）

• 制造工艺：

  • 超细 FeC 粉末（亚微米级）

  • 真空热压烧结（HP）

  • 热等静压（HIP）可达 ≥95%–98% TD

  • 高精度研磨抛光（Ra < 0.4 μm）
    高致密靶材可显著提升溅射稳定性与薄膜的一致性，减少颗粒脱落。

• 背板结合（可选）：

  • Cu 背板

  • Mo 背板

  • 铟焊（Indium Bonding）
    用于陶瓷与碳化物类靶材的热管理与防爆靶设计。

FeC 兼具一定磁性与电导性，非常适用于 DC/RF 溅射、IBS、HiPIMS 等多种薄膜设备。

应用领域（Applications）

碳化铁靶材具有金属 + 碳化物的特殊组合性能，在以下领域应用广泛：

1. 磁性薄膜（Magnetic Thin Films）

• 磁存储材料

• 自旋电子学（Spintronics）

• 磁传感器薄膜

• 铁基功能涂层

2. 硬质涂层与耐磨薄膜（Hard Coatings）

• 工具涂层

• 机械零部件防磨损涂层

• 摩擦学薄膜

3. 半导体与微电子

• 电学调控薄膜

• 功能性阻挡层

• 金属碳化物复合薄膜结构（FeC/TiN、FeC/CrN 等）

4. 能源与电催化

• 电极材料

• 铁碳催化体系薄膜

• 电化学功能膜

5. 光学与吸收材料

• 暗色吸收膜

• 功能性光学表面工程

6. 科研开发

• 金属碳化物相结构研究

• 多层复合薄膜研究

• 磁学、电学调控实验

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空封装或氩气保护

• 防静电袋封装

• 防震泡沫

• 出口级加固箱

• 附唯一批次号与 COA 报告

确保在运输和长期储存过程中保持洁净、安全与无损伤。

结论（Conclusion）

碳化铁靶材因其优良的机械性能、电学特性与磁学潜力，可广泛用于磁性薄膜、硬质涂层、电子功能膜与科研探索中。采用高纯、高致密的 FeC 靶材能显著提升薄膜质量、稳定性与工艺重复性，是薄膜沉积的重要材料之一。

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