碳化钛靶材（TiC）

产品简介（Introduction）

碳化钛靶材（Titanium Carbide Sputtering Target，TiC）是一种兼具高硬度、高熔点、优异耐腐蚀性与稳定电学性能的陶瓷靶材。TiC 具有典型的 NaCl 型立方晶体结构，硬度可达 HV 3000 左右，熔点超过 3000°C，是硬质涂层、耐磨膜、导电保护膜以及光电功能膜的重要沉积材料。

TiC 薄膜具有高致密性、耐磨性强、附着力好、摩擦系数低、电学可调等特点，被广泛应用于工具涂层、装饰涂层、MEMS、航空航天以及先进材料研究领域。

产品详情（Detailed Description）

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密碳化钛靶材，特点包括：

• 纯度：
  99%–99.9%（2N–3N）

• 规格范围：

  • 圆形靶：直径 25–300 mm

  • 方形/矩形靶：可按图纸定制

  • 厚度：3–6 mm（可定制）

• 制造工艺：

  • 超细 TiC 粉末（纳米或亚微米级）

  • 真空热压烧结（HP）

  • 热等静压（HIP）提高致密度（≥95%–99% TD）

  • 高精度抛磨（Ra < 0.4 μm）
    高致密结构可显著提升薄膜均匀性并减少颗粒脱落。

• 背板结合（可选）：

  • Cu 背板

  • Mo 背板

  • 铟焊（Indium Bonding）
    增强散热效率，减少热应力导致的陶瓷靶材开裂。

TiC 靶材适用于 DC/RF 磁控溅射、IBS、HiPIMS 等先进薄膜沉积技术。

应用领域（Applications）

碳化钛靶材广泛用于需要高硬度、高耐磨与高稳定性的薄膜应用，包括：

硬质涂层（PVD Tools Coating）

• 刀具涂层（铣刀、钻头、车刀）

• 模具与冲压部件的耐磨膜层

• 高硬度、高耐磨的工业零部件保护膜

装饰性涂层（Decorative Coatings）

• 表面呈金属灰、深灰等质感

• 广泛用于五金、汽车内饰、消费电子外壳

半导体与微电子

• TiC 导电薄膜

• 阻挡层材料（Barrier Layer）

• 功能性金属碳化物复合膜

光电材料与显示技术

• 红外吸收膜

• 功能性光学膜

• 屏蔽结构薄膜

航空航天与高温应用

• 高温结构涂层

• 耐腐蚀与耐磨复合膜

科研开发

• 金属碳化物材料体系研究

• TiC 基复合结构（TiC/TiN、TiC/CrN 等）

• 高硬度、可调电学薄膜研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封 / 氩气保护

• 防静电袋 + 防震泡沫

• 出口级纸箱或木箱

• 唯一序列号 + COA 检测报告

确保储存与运输中的洁净度、安全性与稳定性。

结论（Conclusion）

碳化钛靶材凭借其卓越硬度、优良化学稳定性、耐磨性与广泛的工艺兼容性，已成为硬质涂层、电子薄膜、装饰镀膜及前沿材料研究的重要材料。高致密、高纯度 TiC 靶材可显著提升膜层性能，是高端薄膜沉积应用的可靠选择。

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