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碲铟钛靶材（TeInTi）是一种由碲（Te）、铟（In）与钛（Ti）组成的多元化合物靶材，兼具半导体光电特性与金属稳定性。TeIn 系材料具有良好的红外与光电响应，而 Ti 的加入可增强薄膜的机械强度、化学稳定性以及膜层附着力，使其适用于先进功能薄膜、光电探测器、红外薄膜结构、阻挡层以及复合半导体材料研究。
Te–In–Ti 复合体系在调控能带结构、提升薄膜稳定性、改善红外吸收与电子输运方面具有显著优势。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯碲、铟、钛原料，通过精确配比、真空熔炼合金化、CIP 成型、热压（HP）或热等静压（HIP）制备高致密度 TeInTi 靶材。
靶材成分均匀、致密度高，可在 RF、DC、脉冲溅射等多种 PVD 工艺中保持稳定沉积。
成分体系：Te–In–Ti（比例可定制）
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
尺寸：Ø25–Ø200 mm（支持矩形靶）
厚度：3–6 mm
密度：≥ 97–99% 理论密度（T.D.）
工艺：CIP + 热压 / HIP
背板（Bonding）：可选 Cu / Ti / Mo 背板，支持铟焊（In Bonding）
Ti 提升膜层附着力和机械强度
稳定的化学计量比，薄膜成分均匀
适合红外光电薄膜沉积
热稳定性好，不易分解
可定制 In:Te:Ti 比例用于能带结构调控
适用于主动/被动光电器件
TeInTi 靶材常用于以下高端功能薄膜的制备：
红外探测薄膜（IR Detector Films）
光电探测器材料（Photodetector Layers）
功能氧化物调控膜
薄膜红外成像器件
光敏材料与光电转换薄膜
半导体复合结构（Te–In–Ti 三元体系）
耐腐蚀、耐热保护膜
Ti 的加入使其更适用于需要强化机械性能与化学稳定性的光电薄膜。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 化学体系 | Te–In–Ti | 三元化合物靶材 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度减少杂质态 |
| 致密度 | ≥97–99% T.D. | 致密膜层、低缺陷 |
| 尺寸 | Ø25–Ø200 mm | 兼容科研及量产 PVD |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按需定制 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo/In | 适用于高功率溅射 |
| 材料 | 特征 | 应用场景 |
|---|---|---|
| TeInTi | 结构增强 + 光电性能可调 | 复合光电薄膜、红外器件 |
| TeIn | 红外响应强 | 光电探测器 |
| InSb | 高迁移率 | 红外/磁敏器件 |
| CdTe | 良好光吸收 | 光伏薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| TeInTi 靶材适用于 RF 或 DC 溅射？ | 两者均可，RF 更适用于成分敏感的薄膜。 |
| 可否定制 Te:In:Ti 比例？ | 可以，根据应用需求自由调整。 |
| 薄膜颜色通常如何？ | 常为灰黑色或深金属色。 |
| 是否支持背板？ | 可提供 Cu / Ti / Mo 背板（常用铟焊）。 |
| 是否随货提供 COA？ | 每批均含纯度、密度、外观等检测报告。 |
每片真空密封
防震泡棉保护
外层出口级木箱
唯一批号 + 完整 COA 报告随货
碲铟钛靶材（TeInTi）结合了 TeIn 的光电性能与 Ti 的结构强化能力，是红外探测、光电材料和多元复合薄膜研究的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密且成分可定制的 TeInTi 靶材，满足科研与产业需求。
如需报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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