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碲化锡(SnTe)是一种重要的 IV–VI 族窄带隙化合物半导体材料,具有优异的热电性能、红外光电响应能力,以及良好的薄膜沉积稳定性。在红外探测器、热电材料、拓扑绝缘体研究和先进薄膜器件制造中应用广泛。作为溅射靶材,SnTe 能在磁控溅射过程中形成成分均匀、晶相完整的半导体薄膜,满足科研与工业对高性能化合物薄膜的需求。
SnTe 靶材具有高纯度、高致密度以及良好的化学均匀性,可有效减少薄膜缺陷,提高红外吸收、导电特性和器件稳定性,是新型光电与热电器件制备中关键的复合材料之一。
我们的 SnTe 溅射靶材采用高纯金属锡与高纯碲粉通过真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压烧结(HP/HIP)等工艺制备而成,确保材料结构致密、晶相稳定,薄膜成分可控。
可提供规格:
纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)
尺寸范围:直径 25–300 mm,厚度 3–6 mm,亦可按客户图纸定制
密度:≥ 95% 理论密度,确保薄膜均匀性与稳定沉积
结合背板:可选 铜 / 钛 背板,支持铟焊或扩散焊,提高散热与结构稳定性
形状:圆形靶、矩形靶、阶梯靶、定制靶材均可提供
材料特性优势:
半导体特性稳定,适用于红外器件与热电薄膜
溅射速率稳定,薄膜成分易控制
表面平整、致密度高,有助于获得低缺陷率薄膜
良好的化学均匀性提升薄膜电学与光学一致性
SnTe 靶材广泛应用于以下薄膜与器件制造场景:
红外探测器薄膜(IR detectors)
热电薄膜材料(如 p 型热电元件)
拓扑绝缘体研究(Topological Insulators)
光电探测器(Photodetectors)
半导体薄膜器件
科研薄膜沉积实验(PVD、协同溅射、多层结构设计)
SnTe 在室温附近表现为半金属行为,带隙较窄,具有良好的红外吸收性能,是高性能红外薄膜的重要候选材料。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.999% | 纯度越高,薄膜缺陷密度更低,晶体结构更稳定 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配多种溅射腔体,支持工业与科研设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响沉积速率、靶材寿命与膜层均匀性 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 提高薄膜致密度、降低针孔与颗粒 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Indium bonding | 提高散热效率、减少靶材开裂风险 |
| 工艺 | CIP、HP、HIP、真空固相反应 | 提升成分稳定性与微结构一致性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| SnTe | 窄带隙、红外响应强、可做拓扑材料 | 红外探测、热电薄膜 |
| PbTe | 热电性能更强 | 中温热电发电器件 |
| SnSe | 高热电效率、低热导率 | 热电材料研究 |
| GeTe | 存储材料、热电材料 | 相变存储器、光电器件 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SnTe 适用于哪些溅射方式? | 兼容 RF 和 DC 溅射,推荐 RF 以获得更好的成分控制。 |
| SnTe 会吸潮或氧化吗? | 略有敏感性,建议避免长时间暴露,但短时间拍照通常无影响。 |
| 是否适合红外器件? | 是,SnTe 是广泛用于红外探测器与红外光学薄膜的材料。 |
| 需要预溅射吗? | 建议预溅射 5–10 分钟以清洁靶面并稳定成分。 |
| 可否提供分段靶、阶梯靶? | 可以按需定制。 |
| 是否可以与其他材料共溅射? | 可与 PbTe、GeTe、SnSe 等组合制备多层结构或调控能带。 |
| 是否适合热电材料研究? | 是,SnTe 是经典的 p 型热电材料之一。 |
| 薄膜成分如何控制? | 通过功率、气压、基底温度与靶材比率调节。 |
| 背板是否必要? | 大尺寸靶材建议采用 Cu 背板提升散热性能与结构稳定性。 |
| SnTe 薄膜是否需要退火? | 多数应用会进行退火以改善晶粒与电学性能。 |
所有 SnTe 靶材在出厂前均经过外观、尺寸、密度、成分等严格检测,并贴附唯一可追溯编号。
包装采用:
真空密封铝箔袋
防震泡沫
出口级木箱
确保靶材在全球运输过程中保持完整与洁净。
碲化锡靶材(SnTe)凭借其窄带隙、优异红外响应、热电特性以及稳定的成膜特性,在红外器件、热电薄膜和前沿半导体研究中具有极高应用价值。适用于科研院所、半导体企业及光电材料开发厂家。
如需了解更多技术参数或获取正式报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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