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碲化铅(PbTe)是一种具有窄带隙特性的 IV-VI 族半导体材料,以其优异的热电性能、高载流子迁移率和可调控能带结构而被广泛用于红外探测、热电材料、光电器件以及功能薄膜制备中。作为一种重要的功能化合物,PbTe 在薄膜沉积应用中表现出优异的成膜均匀性、良好的界面结合力和稳定的电光特性。
高纯度碲化铅靶材是制备 PbTe 薄膜的关键材料,其高致密度结构可显著降低颗粒与点缺陷,提高薄膜的电学与光学性能,是科研实验和产业应用中的核心沉积材料。
PbTe 靶材通常通过真空热压、热等静压(HIP)、CIP 冷等静压等工艺进行制备,以确保高致密度和优异的结构稳定性。
● 纯度: 99.9% – 99.999%(3N–5N)
● 尺寸范围: Ø25–Ø300 mm 或矩形靶可按需定制
● 厚度: 常规 3–6 mm,可根据沉积设备要求调整
● 密度: ≥95% 理论密度
● 微结构: 均匀细晶结构,稳定溅射速率,低颗粒产生
● 背板结合: 可选铜背板(Cu)、钛背板(Ti)或铟焊接(In bonding),用于改善散热与降低热应力开裂风险
高致密 PbTe 溅射靶材在 PVD 工艺中能够提供稳定的溅射速率、优异的膜层重复性以及良好的薄膜电学与热电性能。
碲化铅靶材在以下领域具有广泛应用价值:
PbTe 是中红外区的重要光电材料
可用于制备光电探测器、调制器、量子结构薄膜等
PbTe 是经典高性能热电材料,常用于薄膜热电器件研究
高 ZT 值使其在能源转换领域具有重要意义
可作为界面层、吸收层、电极层使用
适用于能带工程与电学特性调控研究
可与 SnTe、GeTe、PbSe、Bi₂Te₃ 等材料共溅射
用于制备拓扑材料、相变薄膜与复合结构
电子输运、热输运、红外响应特性研究
超晶格与多层结构的精细调控
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.999% | 决定薄膜缺陷密度与光电性能稳定性 |
| 尺寸 | Ø25–300 mm(可定制) | 适配科研及量产 PVD 设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与沉积速率 |
| 密度 | ≥95% 理论密度 | 提升膜层致密度,减少颗粒生成 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In Bonding | 高功率溅射下提升散热与机械稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| PbTe | 高热电性能、红外响应佳 | 热电器件、红外探测器 |
| PbSe | 更宽吸收区 | 中红外光学器件 |
| Bi₂Te₃ | 热电性能优异 | 总体热电转换应用 |
| GeTe | 相变与拓扑材料研究 | PCM、拓扑研究 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| PbTe 靶材适合哪些溅射方式? | 适用于直流(DC)和射频(RF)磁控溅射系统。 |
| PbTe 薄膜适用于哪些领域? | 红外探测、热电薄膜、光电器件、相变研究等。 |
| 薄膜是否需要基底加热? | 根据目标特性可适度加热以提升晶体质量。 |
| 可否与其他材料共溅射? | 可以,常与 SnTe、GeTe、PbSe 共溅射构建多层功能结构。 |
| 靶材是否容易开裂? | 背板结合(铜、钛、铟焊)可显著降低热应力造成的开裂。 |
| 适配哪些基底? | Si、SiO₂、玻璃、蓝宝石、ITO 等。 |
| PbTe 薄膜的光学特性可调吗? | 通过溅射气压/功率与后处理可调节能带与红外吸收。 |
| 是否适合热电薄膜研究? | 是,PbTe 是热电材料研究的重要体系之一。 |
| PbTe 是否对环境敏感? | 对湿度略敏感,建议真空包装保存。 |
| PbTe 靶材运输是否需要特殊防护? | 建议使用真空密封与防震包装避免潮气与氧化。 |
所有 PbTe 靶材均在洁净环境下生产、检测与包装,并附带唯一可追踪编号。
包装包括:
真空密封袋
防震泡沫保护层
出口级木箱包装
确保在运输中避免潮气、氧化及机械损伤。
碲化铅靶材(PbTe)凭借其独特的热电与光电性能,已成为红外探测、热电材料与先进功能薄膜研究中的关键材料。高纯度、高致密度的 PbTe 靶材能够显著提高薄膜质量与器件稳定性,是科研与产业应用中的可靠选择。
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