硼化铬靶材(CrB)

硼化铬靶材(CrB)

产品简介(Introduction)

硼化铬(CrB)是一种典型的金属硼化物材料,具有高硬度、优异的耐磨性、良好的热稳定性与电导率。其结构稳定、化学惰性强,在高温、高摩擦、腐蚀性环境中表现尤为突出。作为功能薄膜材料,CrB 常用于制备硬质涂层、耐腐蚀材料、扩散阻挡层及表面强化薄膜。

在磁控溅射过程中,CrB 靶材能形成致密、均匀、具有高附着力的 Cr–B 系薄膜,被广泛应用于模具加工、机械工程、航空航天、光学镀膜及半导体领域。


产品详情(Detailed Description)

科跃材料的 CrB 靶材采用高纯金属铬粉与硼粉,经真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压(HP/HIP)烧结及精密加工制备而成,具有高致密度、高强度及良好的溅射稳定性。

可提供的靶材规格:

  • 纯度:99.5% – 99.9%(2N5–3N)

  • 尺寸范围:Ø25–300 mm;厚度 3–10 mm

  • 密度:≥ 95% 理论密度

  • 生产工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、精密研磨

  • 背板选择:Cu / Ti 背板,可铟焊或扩散焊

  • 形状:圆形靶、方形靶、阶梯靶、多段靶

材料特性:

  • 高硬度,适合制作耐磨薄膜

  • 优异耐腐蚀性和化学稳定性

  • 高温结构稳定,适合高热负载环境

  • 粘附性好,薄膜结构均匀、缺陷率低

  • 溅射过程稳定,不易产生颗粒脱落


应用领域(Applications)

CrB 溅射靶材广泛用于:

  • 硬质涂层(Hard Coatings)

  • 耐磨薄膜(Wear-Resistant Films)

  • 扩散阻挡层(Diffusion Barrier Layers)

  • 防腐保护膜(Corrosion-Resistant Coatings)

  • 刀具与模具强化涂层

  • 高温结构薄膜

  • 航空航天与机械零部件保护层

  • 光学与电子薄膜材料

CrB 结合硬度、耐磨性和良好电导率,特别适用于高载荷、强摩擦工况的强化薄膜。


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 重要性说明
纯度 99.5% – 99.9% 高纯材料保证薄膜洁净度与稳定性
直径 Ø25–300 mm 适配不同溅射腔体
厚度 3–10 mm 决定靶材寿命与功率承载能力
密度 ≥ 95% 理论密度 降低颗粒生成,提高薄膜质量
背板 Cu / Ti / In bonding 提高散热性能,防止靶材破裂
制备工艺 CIP / HP / HIP 提升均匀性与微结构致密度

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 优势 应用
CrB 硬度高、耐磨性好 工业涂层、耐磨薄膜
CrB₂ 更高硬度与优异耐腐蚀性 高端硬质涂层
TiB₂ 电导率高、极高硬度 导电薄膜、切削工具涂层
CrN 化学稳定性高 装饰与功能涂层

常见问题(FAQ)

问题 答案
CrB 靶材适用于哪种溅射方式? RF 与 DC 均可,工业常用 DC 溅射。
CrB 是否易碎? 为陶瓷类复合材料,较脆,建议使用 Cu 背板增强强度。
溅射过程会不会产生颗粒? 高致密烧结工艺可大幅降低颗粒风险。
是否适用于高温工况? 是,CrB 具有极佳的耐高温性能。
可否定制尺寸? 支持所有常见圆靶、方靶与阶梯靶。
CrB 薄膜的典型用途是什么? 耐磨涂层、防护层、阻挡层、高温薄膜。
是否可用于模具行业? 是,CrB 涂层可显著提升耐磨寿命。

包装与交付(Packaging)

所有 CrB 靶材均:

  • 真空密封包装

  • 防震泡沫层保护

  • 外部出口级木箱

  • 具备唯一序列号及质检报告(ICP 杂质分析、密度、尺寸等)

确保产品在运输过程中保持无损和洁净。


结论(Conclusion)

硼化铬靶材(CrB)凭借其高硬度、优异耐磨性与出色的热稳定性,是制备工业硬质涂层和高性能功能薄膜的理想材料。科跃材料可根据用户需求提供多种纯度、尺寸和背板选择,适用于科研与工业量产。

如需获取报价或了解更多技术资料,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com