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硼化铬(CrB)是一种典型的金属硼化物材料,具有高硬度、优异的耐磨性、良好的热稳定性与电导率。其结构稳定、化学惰性强,在高温、高摩擦、腐蚀性环境中表现尤为突出。作为功能薄膜材料,CrB 常用于制备硬质涂层、耐腐蚀材料、扩散阻挡层及表面强化薄膜。
在磁控溅射过程中,CrB 靶材能形成致密、均匀、具有高附着力的 Cr–B 系薄膜,被广泛应用于模具加工、机械工程、航空航天、光学镀膜及半导体领域。
科跃材料的 CrB 靶材采用高纯金属铬粉与硼粉,经真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压(HP/HIP)烧结及精密加工制备而成,具有高致密度、高强度及良好的溅射稳定性。
可提供的靶材规格:
纯度:99.5% – 99.9%(2N5–3N)
尺寸范围:Ø25–300 mm;厚度 3–10 mm
密度:≥ 95% 理论密度
生产工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、精密研磨
背板选择:Cu / Ti 背板,可铟焊或扩散焊
形状:圆形靶、方形靶、阶梯靶、多段靶
材料特性:
高硬度,适合制作耐磨薄膜
优异耐腐蚀性和化学稳定性
高温结构稳定,适合高热负载环境
粘附性好,薄膜结构均匀、缺陷率低
溅射过程稳定,不易产生颗粒脱落
CrB 溅射靶材广泛用于:
硬质涂层(Hard Coatings)
耐磨薄膜(Wear-Resistant Films)
扩散阻挡层(Diffusion Barrier Layers)
防腐保护膜(Corrosion-Resistant Coatings)
刀具与模具强化涂层
高温结构薄膜
航空航天与机械零部件保护层
光学与电子薄膜材料
CrB 结合硬度、耐磨性和良好电导率,特别适用于高载荷、强摩擦工况的强化薄膜。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.5% – 99.9% | 高纯材料保证薄膜洁净度与稳定性 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配不同溅射腔体 |
| 厚度 | 3–10 mm | 决定靶材寿命与功率承载能力 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 降低颗粒生成,提高薄膜质量 |
| 背板 | Cu / Ti / In bonding | 提高散热性能,防止靶材破裂 |
| 制备工艺 | CIP / HP / HIP | 提升均匀性与微结构致密度 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| CrB | 硬度高、耐磨性好 | 工业涂层、耐磨薄膜 |
| CrB₂ | 更高硬度与优异耐腐蚀性 | 高端硬质涂层 |
| TiB₂ | 电导率高、极高硬度 | 导电薄膜、切削工具涂层 |
| CrN | 化学稳定性高 | 装饰与功能涂层 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CrB 靶材适用于哪种溅射方式? | RF 与 DC 均可,工业常用 DC 溅射。 |
| CrB 是否易碎? | 为陶瓷类复合材料,较脆,建议使用 Cu 背板增强强度。 |
| 溅射过程会不会产生颗粒? | 高致密烧结工艺可大幅降低颗粒风险。 |
| 是否适用于高温工况? | 是,CrB 具有极佳的耐高温性能。 |
| 可否定制尺寸? | 支持所有常见圆靶、方靶与阶梯靶。 |
| CrB 薄膜的典型用途是什么? | 耐磨涂层、防护层、阻挡层、高温薄膜。 |
| 是否可用于模具行业? | 是,CrB 涂层可显著提升耐磨寿命。 |
所有 CrB 靶材均:
真空密封包装
防震泡沫层保护
外部出口级木箱
具备唯一序列号及质检报告(ICP 杂质分析、密度、尺寸等)
确保产品在运输过程中保持无损和洁净。
硼化铬靶材(CrB)凭借其高硬度、优异耐磨性与出色的热稳定性,是制备工业硬质涂层和高性能功能薄膜的理想材料。科跃材料可根据用户需求提供多种纯度、尺寸和背板选择,适用于科研与工业量产。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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